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インライン膜厚測定と制御とは?課題と対策・製品を解説

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成膜・蒸着・コーティングにおけるインライン膜厚測定と制御とは?

成膜、蒸着、コーティングといった薄膜形成プロセスにおいて、製造ライン上でリアルタイムに膜厚を測定し、その結果に基づいてプロセスを自動的に調整・制御することです。これにより、製品の品質安定化、歩留まり向上、生産効率の最大化を目指します。

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非接触・非放射線 MeSys 超音波式フィルム重量測定システム

非接触・非放射線 MeSys 超音波式フィルム重量測定システム
『非接触・非放射線 MeSys(メシス)超音波式フィルム重量測定システム』はシート材の製造工程におけるモニタリング、検査、試験用ソリューションです。 超音波を利用した非接触デバイスでさまざまな素材の重量(坪量)を測定します。 フィルムが軽いほど精度が高くなります。 【利用メリット】 ◆非破壊での非接触検査で高精度測定が可能 ◆放射線を使用しないため、資格を持った管理者や作業員の教育・安全管理、関連機関への申請が不要 ◆精度

【CLA事例】印刷機のインク残量検知【印刷機器メーカー様事例】

【CLA事例】印刷機のインク残量検知【印刷機器メーカー様事例】
電極がPETフィルムのため、色々なタンクに取り付けが可能な非接触で 検出できる液面レベルセンサー「CLA」を使用した印刷機のインク残量 検知の事例をご紹介します。(検出物:インク) 印刷機器メーカー様は、光学式ではインクの色によって検知できない。 簡単にタンクに取り付けられる=量産しやすく、後からもメンテがしやすい センサが良いとのことで課題を抱えていました。 そこで、非接触式の「CLA」を採用。 タンクの外側に貼り付け方式で取り付ける事により、非接触で インク液面管理が出来るようになりました。 【現状の課題および要望】 ■印刷機器にて、インクのタンク液面管理をする際、液面レベルを管理できる  センサーを装置に搭載されている ■光学式では、インクの色によって検知できない ■簡単にタンクに取り付けられる=量産しやすく、後からもメンテが  しやすいセンサが良い ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

オンライン水分計『SensoWeb Moist』

オンライン水分計『SensoWeb Moist』
◼ マルチスペクトルNIR(近赤外線)センサにより、オンラインで水分を測定 ◼ センサヘッドは耐環境性に優れており、高温多湿な環境でも測定可 ◼ センサヘッドは紙面から200mmまで離して設置可能 ◼ センサヘッドとセンサユニットは光ファイバーケーブル で接続(15m以内) ◼ エアパージにより、センサ先端部の汚れを防止 ◼ センサヘッドの汚れ具合を検知し、アウトプット可能 ◼ 専用ソフトウェア『TriIdent-Master』で設定
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成膜・蒸着・コーティングにおけるインライン膜厚測定と制御

成膜・蒸着・コーティングにおけるインライン膜厚測定と制御とは?

成膜、蒸着、コーティングといった薄膜形成プロセスにおいて、製造ライン上でリアルタイムに膜厚を測定し、その結果に基づいてプロセスを自動的に調整・制御することです。これにより、製品の品質安定化、歩留まり向上、生産効率の最大化を目指します。

​課題

リアルタイム性の欠如による品質ばらつき

製造ラインから離れた場所でのオフライン測定では、プロセス中の微細な変動を捉えきれず、最終製品に品質のばらつきが生じるリスクがあります。

手動調整による時間とコストの浪費

膜厚のズレが発生した場合、手動での調整が必要となり、多大な時間と人的リソースを消費し、生産効率を低下させます。

プロセスの再現性確保の困難さ

環境要因や材料の微妙な変化が膜厚に影響を与え、安定した品質の製品を継続的に製造することが難しい場合があります。

不良品の発生とそれに伴う損失

膜厚の管理が不十分な場合、規格外の製品が製造され、廃棄コストや機会損失につながります。

​対策

インライン膜厚モニタリングシステムの導入

製造ライン上に非接触型の膜厚測定器を設置し、リアルタイムで膜厚データを取得します。

自動フィードバック制御システムの構築

測定された膜厚データに基づき、成膜条件(蒸着レート、ガス流量、温度など)を自動で調整するシステムを構築します。

プロセスパラメータの最適化と標準化

過去のデータ分析に基づき、最適なプロセスパラメータを設定し、その再現性を高めるための標準化を行います。

データロギングと解析による継続的改善

取得した膜厚データを記録・分析し、プロセスの傾向を把握して、さらなる品質向上や効率化につなげます。

​対策に役立つ製品例

光学式膜厚測定装置

光の干渉や反射を利用して、非接触で高精度な膜厚測定をリアルタイムで行い、プロセスの状態を正確に把握します。

プロセス制御ソフトウェア

測定データを解析し、成膜装置のパラメータを自動で調整することで、目標膜厚への迅速な到達と安定化を実現します。

インラインセンサーモジュール

既存の成膜装置に容易に組み込み可能で、製造ラインの稼働を止めずに膜厚測定とデータ収集を可能にします。

データ解析・可視化システム

蓄積された膜厚データを分析し、傾向や異常を視覚的に表示することで、プロセスの理解を深め、改善策の立案を支援します。

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