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コンバーティング技術

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帯電防止とは?課題と対策・製品を解説

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成膜・蒸着・コーティングにおける帯電防止とは?

成膜、蒸着、コーティングプロセスにおいて、材料や装置に静電気が発生・蓄積するのを防ぐ技術や対策のことです。これにより、製品の品質低下、歩留まりの悪化、作業者の安全確保、装置の誤作動防止などを目的とします。

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当社では、抗ウイルス性と抗菌性を備えた『抗ウイルスインキ』と、
抗菌性を備え、耐湿性、耐候性が良好な『抗菌インキ』を取り扱っております。

ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■抗ウイルスインキ
 ・抗菌成分:無機系抗菌剤
 ・抗菌剤の平均粒径:約1μm
■抗菌インキ
 ・抗菌成分:有機無機混合抗菌剤
 ・抗菌剤の平均粒径:約3μm など

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

抗ウイルス・抗菌インキ

当社で取り扱っている、ウレタンゴム製品『マイティースキージ』を
ご紹介いたします。

当社は創業以来、ウレタンゴムの専業メーカーとして、機能部品の開発に
力を入れており、種々のウレタンゴム材質を開発・提案してきました。

スキージにおいても、各種用途に対応した材質、硬度を
ラインアップしております。

【種類】
■材質タイプ:LM40※※M 特長:耐溶剤性
■材質タイプ:LMC※※M 特長:超耐溶剤性
■材質タイプ:LMC※※MX 特長:超耐溶剤性+超耐摩耗性
■材質タイプ:LMC※※ME 特長:超耐溶剤性+静電防止

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

マイティースキージ

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成膜・蒸着・コーティングにおける帯電防止

成膜・蒸着・コーティングにおける帯電防止とは?

成膜、蒸着、コーティングプロセスにおいて、材料や装置に静電気が発生・蓄積するのを防ぐ技術や対策のことです。これにより、製品の品質低下、歩留まりの悪化、作業者の安全確保、装置の誤作動防止などを目的とします。

課題

静電気による異物付着

成膜・蒸着・コーティングされた表面に、空気中の微細な塵や埃が静電気の力で引き寄せられ、製品の欠陥となることがあります。

放電による材料損傷

蓄積された静電気が放電することで、デリケートな成膜層やコーティング膜が損傷し、性能が低下する可能性があります。

プロセス装置の誤作動

静電気の発生は、センサーや制御システムに影響を与え、成膜・蒸着・コーティングプロセスの安定性を損なうことがあります。

作業者の感電リスク

高電圧を扱うプロセスや、乾燥した環境下では、作業者が静電気による不快感や感電のリスクにさらされることがあります。

​対策

帯電防止材料の導入

成膜・蒸着・コーティングに使用する材料自体に、導電性や帯電防止性を持たせることで、静電気の発生を抑制します。

静電気除去装置の設置

プロセスチャンバー内や搬送ラインに、イオナイザーなどの静電気除去装置を設置し、発生した静電気を中和します。

接地(アース)の徹底

装置や治具、作業者の衣服などを適切に接地することで、静電気の電荷を大地に逃がし、蓄積を防ぎます。

環境制御による湿度管理

適切な湿度を保つことで、空気の絶縁性を低下させ、静電気の発生・蓄積を抑制します。特に乾燥した環境での対策が重要です。

​対策に役立つ製品例

導電性添加剤

成膜材料やコーティング剤に混合することで、材料自体の導電性を高め、静電気の蓄積を防ぎます。

イオン発生装置

チャンバー内や搬送経路に設置し、プラスイオンとマイナスイオンを放出して、表面の電荷を中和します。

帯電防止リストストラップ

作業者が装着することで、体内に蓄積された静電気を安全に放電し、製品や装置への影響を防ぎます。

湿度調整システム

クリーンルームやプロセスエリアの湿度を一定に保つことで、静電気の発生しにくい環境を作り出します。

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