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微細な欠陥検出とは?課題と対策・製品を解説

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光半導体・電子デバイスにおける微細な欠陥検出とは?
光半導体や電子デバイスは、現代社会を支える基幹技術です。これらのデバイスの性能や信頼性を保証するためには、製造過程で発生する微細な欠陥を早期かつ正確に検出することが不可欠です。本技術は、光や電子線を用いてデバイス表面や内部の微細な傷、異物、構造異常などを可視化・定量化し、不良品の流出を防ぐことを目的としています。
