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微細な欠陥検出とは?課題と対策・製品を解説

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光半導体・電子デバイスにおける微細な欠陥検出とは?
光半導体や電子デバイスは、現代社会を支える基幹技術です。これらのデバイスの性能や信頼性を保証するためには、製造過程で発生する微細な欠陥を早期かつ正確に検出することが不可欠です。本技術は、光や電子線を用いてデバイス表面や内部の微細な傷、異物、構造異常などを可視化・定量化し、不良品の流出を防ぐことを目的としています。
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【光学機器向け】小型リニアエアベアリングステージ A-143
【光学アライメント向け】クリーンルーム環境での使用可 A-121
光学業界のアライメント工程では、レンズやミラーなどの光学部品を超精密に位置決めすることが求められます。特に、光軸のずれは、システムの性能を大きく左右するため、高精度な位置決めが不可欠です。従来の摩擦を利用したステージでは、微小な動きの際に摩擦の影響を受け、正確な位置決めが困難でした。PIglide A-121は、摩擦やバックラッシュを排除し、ナノメートル単位の精度で位置決めを実現することで、 光学アライメントの課題を解決します。
【活用シーン】
・光学レンズのアライメント
・ファイバーアライメント
・光ファイバーデバイスの製造
【導入の効果】
・高精度なアライメントによる光学性能の向上
・歩留まりの向上
・生産性の向上
【品質管理向け】液晶マイクロディスプレイ
【レーザーマーキング向け】エアベアリング A-311
光学レンズ研磨・加工分野では、レンズの形状精度や表面品質が最終的な光学性能を大きく左右するため、極めて高い位置決め精度と安定性が求められます。特に研磨や表面加工工程では、わずかな振動や摺動摩擦が加工精度や再現性に影響を及ぼす可能性があります。
PIglide IS A-311 は、エアベアリングによる非接触支持とリニアモータ駆動を採用した高精度XYステージです。機械的摩擦やスティックスリップを排除することで、滑ら かで安定した平面動作を実現し、光学用途に求められる高い位置決め精度と繰り返し性を支えます。
光学レンズの研磨工程や、精密な表面加工・評価工程において、加工品質の安定化やプロセス再現性の向上に貢献します。また、エアベアリング構造により発塵を抑えられるため、クリーンルーム環境での使用にも適しています。
【活用シーン】
・レンズ研磨工程
・高精度な表面加工が必要な場面
・クリーンルーム環境での使用
【導入の効果】
・高精度な研磨を実現
・タクトタイムの短縮
・製品の品質向上
【光学顕微鏡向け】V-308 高精度Z軸フォーカスステージ
光学顕微鏡の分野では、観察対象の微細構造を鮮明に捉えるために、正確なフォーカス調整が不可欠です。特に、高倍率での観察や、多光子・深部組織イメージングにおいては、ナノレベルでの焦点位置の最適化が、観察の質を大きく左右します。フォーカス調整の精度が低いと、観察像がぼやけ、正確なデータ取得が困難になる可能性があります。V-308は、最小インクリメント10 nm、調整可能な7 mmストロークにより、光学系の焦点位置をナノレベルで最適化し、鮮明な観察像を提供します。
【活用シーン】
・光学顕微鏡での微細構造観察
・多光子・深部組織イメージング
・大口径レンズ、長作動距離レンズの使用
【導入の効果】
・ナノレベルでの正確なフォーカス調整による鮮明な観察像の実現
・観察データの信頼性向上
・実験効率の向上
【光学部品向け】ステルスダイシング搭載レーザー加工機
光学部品業界では、レンズやプリズムなどの透明材料の精密な切断加工が求められます。特に、製品の性能を左右する加工精度と、歩留まりを向上させるための高品質な加工が重要です。従来のブレード方式では、微細な割れやチッピングが発生しやすく、歩留まりの低下につながることが課題です。当社のステルスダイシング搭載レーザー加工機は、浜松ホトニクス社特許技術であるステルスダイシングエンジンを搭載し、これらの課題を解決します。
【活用シーン】
・レンズ、プリズム、フィルターなどの光学部品製造
・サファイア、SiC、水晶、LiNbO₃などの透明材料の切断加工
・スマートフォン部品、LED関連部品などの精密加工
【導入の効果】
・微細な割れやチッピングを抑制し、歩留まりを向上
・高速加工により、生産タクトタイムを短縮
・多種多様な材料に対応し、フレキシブルな生産体制を構築
【ガラス表面処理向け】洗浄の基礎知識
【光学調整向け】高推力PICMAWalkアクチュエータ
光学業界では、精密な光学系の調整において、ナノメートルレベルでの正確な位置決めが求められます。特に、光軸調整やレンズの位置決めなど、わずかなズレがシステムの性能に大きな影響を与える場面では、高精度な位置決め能力が不可欠です。不正確な調整は、画像の歪みや測定精度の低下を引き起こす可能性があります。高推力PICMAWalkアクチュエータ N-331は、ナノメートル精度で位置決めを実現し、光学系の性能を最大限に引き出します。
【活用シーン】
・光学顕微鏡の対物レンズ調整
・レーザー加工機の光軸調整
・半導体製造装置におけるウェーハ位置決め
【導入の効果】
・ナノメートルレベルでの高精度な位置決め
・光学系の性能向上
・作業効率の向上
【FPD検査向け】6500万画素 CoaXPressエリアカメラ
【光学調整向け】プリロード付きピエゾアクチュエータ P-841
【ガラス装飾向け】高出力CO2レーザマーカー
【顕微鏡向け】走査型顕微鏡に最適なXYピエゾスキャナ P-734
顕微鏡観察の分野では、試料の正確な位置決めと微細な動きの制御が、鮮明な画像を得るために不可欠です。特に、高倍率での観察や、微小な構造の解析においては、ナノレベルの精度が求められます。位置決めのわずかなずれや振動は、観察結果に大きな影響を与え、正確なデータ取得を妨げる可能性があります。P-734は、このような課題に対し、高精度な位置決めと高速動作で応えます。
【活用シーン】
・光学顕微鏡
・走査型顕微鏡
・表面形状解析
【導入の効果】
・高精度な観察画像の取得
・微細構造 の正確な解析
・観察時間の短縮
詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。
【レーザー加工向け】密着冷却用空冷サ ーモ・クーラー
レーザー加工業界では、レーザービームの安定性が、加工精度と効率を左右する重要な要素です。特に、長時間にわたる加工や、高出力レーザーを使用する際には、熱による影響でビームが不安定になり、加工不良や装置の故障につながる可能性があります。密着冷却用空冷サーモ・クーラーは、レーザー発振器や光学部品を直接冷却し、温度変化を抑制することで、ビームの安定性を向上させます。これにより、安定した加工 品質と、装置の長寿命化に貢献します。
【活用シーン】
・レーザー発振器の冷却
・光学レンズ、ミラーの冷却
・レーザー加工機の安定稼働
【導入の効果】
・ビームの安定化による加工精度向上
・装置の安定稼働による生産性向上
・部品の長寿命化によるコスト削減
【半導体露光向け】大口径両面非球面レンズ
【光学調整向け】Zチップチルト エアベアリング A-523
【製造業向け】高遮光性『遮光リング』『遮光マスク』
【製造業向け】25M CoaXPress 高速カメラ

















