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光技術・レーザー

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微細な欠陥検出とは?課題と対策・製品を解説

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光半導体・電子デバイスにおける微細な欠陥検出とは?

光半導体や電子デバイスは、現代社会を支える基幹技術です。これらのデバイスの性能や信頼性を保証するためには、製造過程で発生する微細な欠陥を早期かつ正確に検出することが不可欠です。本技術は、光や電子線を用いてデバイス表面や内部の微細な傷、異物、構造異常などを可視化・定量化し、不良品の流出を防ぐことを目的としています。

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【製造業向け】液晶光学素子製品
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製造業の検査工程では、製品の品質を確保するために、高精度な検査が求められます。特に、微細な欠陥や異物を検出するためには、高速かつ高解像度な光学技術が不可欠です。従来の検査方法では、検査速度の遅さや検出精度の限界が課題となっていました。当社の液晶光学素子製品は、高速応答性と高精度な光制御により、製造ラインにおける検査工程の効率化と品質向上に貢献します。

【活用シーン】
・外観検査
・寸法測定
・異物検査

【導入の効果】
・検査時間の短縮
・不良品の早期発見
・品質管理の向上

【光計測向け】長ストローク対物フォーカス P-725.xCDE2
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光計測分野では、光学イメージングや精密測定において、検出位置のフォーカス精度と安定性が結果の精度に直結します。特に微細構造の評価や高速データ取得を必要とするアプリケーションでは、高分解能フォーカス制御と応答性の高い動作性能が求められます。

P-725.xCDE2 PIFOCフォーカススキャナは、サブナノメートル分解能の位置制御と、最大800 µmのストロークを両立。PICMAピエゾアクチュエータと高精度静電容量センサー搭載のフレクシャガイド機構により、光計測装置のZ方向フォーカス調整における高い線形性と再現性を実現します。これにより、光計測におけるフォーカス位置ズレの影響を抑え、測定精度と装置の歩留まり向上に貢献します。

【活用シーン】
・共焦点顕微鏡による高精度計測
・多光子顕微鏡の高速Z走査
・高解像度イメージング評価装置
・光干渉計・位相計測装置

【導入の効果】
・サブナノメートル分解能のフォーカス制御
・最大800 µmストロークでの広い測定範囲対応
・高速応答による検査・計測時間の短縮
・PIFOC/フレクシャ構造による長期安定性

【光学部品向け】ステルスダイシング搭載レーザー加工機
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光学部品業界では、レンズやプリズムなどの透明材料の精密な切断加工が求められます。特に、製品の性能を左右する加工精度と、歩留まりを向上させるための高品質な加工が重要です。従来のブレード方式では、微細な割れやチッピングが発生しやすく、歩留まりの低下につながることが課題です。当社のステルスダイシング搭載レーザー加工機は、浜松ホトニクス社特許技術であるステルスダイシングエンジンを搭載し、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・レンズ、プリズム、フィルターなどの光学部品製造
・サファイア、SiC、水晶、LiNbO₃などの透明材料の切断加工
・スマートフォン部品、LED関連部品などの精密加工

【導入の効果】
・微細な割れやチッピングを抑制し、歩留まりを向上
・高速加工により、生産タクトタイムを短縮
・多種多様な材料に対応し、フレキシブルな生産体制を構築

【光学機器向け】真空成形ソフトトレー
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光学機器業界では、レンズや精密部品の品質を維持するために、防塵対策が不可欠です。輸送中や保管中にホコリや異物が付着すると、製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。真空成形ソフトトレーは、光学機器の形状に合わせた高精度な格納ポケットにより、製品を確実に保護し、防塵対策に貢献します。ハードトレーの10分の1の金型費用でコスト削減にも貢献します。

【活用シーン】
・光学レンズの輸送
・精密測定機器の保管
・カメラ部品の梱包

【導入の効果】
・製品の破損リスクを軽減
・異物混入による不良率を低減
・保管スペースの効率化

【量子ドット向け】超高純度昇華精製装置
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量子ドットディスプレイ業界では、鮮やかな色再現性と高い表示品質が求められます。特に、量子ドット材料の純度は、色再現性に大きく影響し、不純物の混入は、色純度の低下や表示ムラの原因となります。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度材料の安定供給を実現し、量子ドットディスプレイの色再現性向上に貢献します。

【活用シーン】
・量子ドットディスプレイ製造
・色再現性評価
・高機能材料の開発

【導入の効果】
・色純度の向上
・表示品質の向上
・歩留まりの改善

【光学向け】エアベアリング A-311
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光学レンズ研磨・加工分野では、レンズの形状精度や表面品質が最終的な光学性能を大きく左右するため、極めて高い位置決め精度と安定性が求められます。特に研磨や表面加工工程では、わずかな振動や摺動摩擦が加工精度や再現性に影響を及ぼす可能性があります。

PIglide IS A-311 は、エアベアリングによる非接触支持とリニアモータ駆動を採用した高精度XYステージです。機械的摩擦やスティックスリップを排除することで、滑らかで安定した平面動作を実現し、光学用途に求められる高い位置決め精度と繰り返し性を支えます。

光学レンズの研磨工程や、精密な表面加工・評価工程において、加工品質の安定化やプロセス再現性の向上に貢献します。また、エアベアリング構造により発塵を抑えられるため、クリーンルーム環境での使用にも適しています。

【活用シーン】
・レンズ研磨工程
・高精度な表面加工が必要な場面
・クリーンルーム環境での使用

【導入の効果】
・高精度な研磨を実現
・タクトタイムの短縮
・製品の品質向上

【ガラス向け】16Kラインスキャンカメラ
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ガラス業界では、製品の品質を確保するために、表面の傷や異物の検出が求められます。特に、自動車やディスプレイに使用されるガラスにおいては、わずかな傷や異物が製品の性能や外観を損なう可能性があります。16Kラインスキャンカメラは、16Kの高解像度と最大120kHzの高速ラインレートにより、ガラス表面の微細な傷や異物を正確に捉え、高速な検査を実現します。

【活用シーン】
・ガラス製品の傷検査
・異物混入検査
・高速ラインスキャン検査が必要な工程

【導入の効果】
・高解像度による詳細な検査が可能
・高速スキャンによる検査時間の短縮
・品質管理の向上と歩留まりの改善

【品質管理向け】液晶マイクロディスプレイ
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産業用検査、特に品質管理の分野では、製品の微細な欠陥や異常を迅速かつ正確に検出することが求められます。従来の検査方法では、検出精度や検査速度に限界があり、見落としや検査時間の長期化が課題となっています。当社の液晶マイクロディスプレイは、約100μsの高速応答と高解像度により、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・製品の外観検査
・製造ラインにおけるリアルタイム検査
・精密部品の品質評価

【導入の効果】
・検査時間の短縮
・不良品の早期発見
・品質管理の効率化

【半導体露光向け】大口径両面非球面レンズ
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半導体製造業界、特に露光工程においては、高精度なレンズが不可欠です。微細加工技術の進歩に伴い、レンズには高い光学性能が求められ、わずかな歪みや収差が製品の品質に大きく影響します。当社の大口径両面非球面レンズは、露光装置の性能を最大限に引き出すために開発されました。

【活用シーン】
・露光装置
・半導体製造プロセス

【導入の効果】
・高精度な露光を実現
・歩留まり向上に貢献
・高品質な半導体製品の製造

【光学部品向け】高純度有機材料昇華精製装置
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光学部品業界では、製品の性能を最大限に引き出すために、材料の純度が重要です。特に、光の透過率に影響を与える不純物の混入は、透明度の低下を招き、製品の品質を損なう可能性があります。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、光学部品の透明度向上に貢献します。

【活用シーン】
・光学レンズ
・ディスプレイ
・各種フィルター

【導入の効果】
・材料純度の向上
・透明度の改善
・製品品質の向上

【ガラス装飾向け】高出力CO2レーザマーカー
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ガラス装飾業界では、デザインの多様性と耐久性が求められます。レーザー加工は、繊細な模様や文字をガラスに施すことができ、デザインの自由度を格段に向上させます。また、レーザー加工は耐久性にも優れ、長期間にわたって美しい装飾を維持できます。当社の高出力CO2レーザマーカーは、ガラスへの穴あけや切断、彫刻を可能にし、装飾の幅を広げます。

【活用シーン】
・ガラス製品へのデザイン加工
・看板やディスプレイの製作
・インテリア装飾

【導入の効果】
・高精度な加工による高品質な仕上がり
・多様なデザイン表現
・高い耐久性

【製造業向け】株式会社ニシムラ
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製造業の工程管理において、高品質なレンズの安定供給は、製品の品質と生産効率を左右する重要な要素です。特に、精密なレンズを必要とする製品においては、レンズの品質が最終製品の性能に直結します。レンズの組立不良や調整のずれは、製品の歩留まりを低下させ、コスト増につながる可能性があります。株式会社ニシムラは、レンズ組立経験30年の円熟の技で、高品質なレンズを安定供給することで、製造業の工程管理をサポートします。

【活用シーン】
・CCTV用レンズの製造工程
・FA用レンズの製造工程
・多品種少量生産におけるレンズの工程管理

【導入の効果】
・高品質なレンズの安定供給による製品品質の向上
・歩留まりの向上によるコスト削減
・多品種少量生産への対応

【光学業界向け】リアルナノ3次元測定機
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光学業界では、製品の品質管理において、表面の反射特性を正確に評価することが求められます。特に、光学レンズや反射防止膜など、光の反射を利用する製品においては、表面の微細な形状や粗さが性能に大きく影響します。不適切な表面状態は、光の散乱や損失を引き起こし、製品の性能低下につながる可能性があります。当社のリアルナノ3次元測定機は、ナノスケールでの実測を可能にし、反射特性評価における課題を解決します。

【活用シーン】
・光学レンズの表面粗さ測定
・反射防止膜の膜厚と形状評価
・光ファイバーの端面形状測定
・ディスプレイの表面評価

【導入の効果】
・高精度な表面形状測定による品質向上
・不良品の削減とコスト削減
・製品開発における迅速なフィードバック
・顧客からの信頼性向上

【製造業向け】AOI開発センター
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製造業においては、生産効率の向上が常に求められています。光学技術を活用した製品は、製造プロセスの自動化や品質管理の精度向上に貢献し、効率化を促進します。AOI開発センターの製品は、製造現場の課題解決に貢献します。

【活用シーン】
・製造ラインにおける製品検査
・品質管理における画像解析
・生産プロセスの自動化

【導入の効果】
・不良品の早期発見によるコスト削減
・検査時間の短縮による生産性向上
・高品質な製品の安定供給

【製造業向け】25M CoaXPress 高速カメラ
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製造業の検査工程では、製品の品質を確保するために、高速で正確な画像検査が求められます。特に、高速で移動するワークや、微細な欠陥を見つけるためには、高解像度かつ高速なカメラが不可欠です。従来のカメラでは、速度が遅く、検査精度に限界がありました。当社の25M CoaXPress高速カメラは、2500万画素、最大150fpsの高速フレームレートを実現し、製造ラインにおける検査の効率化と品質向上に貢献します。

【活用シーン】
* 外観検査(液晶、基板、半導体ウェハなど)
* 計測
* ロボットビジョン
* NIRモデルによる、果物の打痕、不透明な容器内の容量確認、サングラスの下の顔貌確認等

【導入の効果】
* 高速移動するワークの鮮明な画像取得
* 高解像度による微細な欠陥の検出
* 検査工程の効率化
* 品質管理の向上

【レーザー加工向け】非球面レンズ
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レーザー加工業界では、加工精度と効率が常に求められます。特に、レーザー光線の収束性と集光性は、加工品質を左右する重要な要素です。非球面レンズは、球面レンズと比較して収差を抑え、より高精度なレーザー加工を可能にします。当社では、お客様のニーズに合わせた非球面レンズを提供し、レーザー加工の品質向上に貢献します。

【活用シーン】
・レーザーマーキング
・レーザーカッティング
・レーザー溶接
・レーザー顕微鏡
・レーザー走査

【導入の効果】
・レーザー加工の精度向上
・加工時間の短縮
・歩留まりの向上
・製品品質の安定化
・コスト削減

【製造業向け】高遮光性『遮光リング』『遮光マスク』
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製造業の品質管理においては、製品の正確な検査が求められます。特に、カメラを用いた検査工程では、光の乱反射によるゴーストやフレアが検査精度を低下させる可能性があります。これらの現象は、製品の欠陥を見逃したり、誤った判定を引き起こす原因となります。当社の遮光リング/マスクは、カメラレンズの層間に使用することで、光の乱反射を抑制し、検査精度を向上させます。

【活用シーン】
・外観検査
・寸法測定
・画像処理による検査

【導入の効果】
・検査精度の向上
・不良品の検出率向上
・検査工程の効率化

【レーザー加工向け】密着冷却用空冷サーモ・クーラー
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レーザー加工業界では、レーザービームの安定性が、加工精度と効率を左右する重要な要素です。特に、長時間にわたる加工や、高出力レーザーを使用する際には、熱による影響でビームが不安定になり、加工不良や装置の故障につながる可能性があります。密着冷却用空冷サーモ・クーラーは、レーザー発振器や光学部品を直接冷却し、温度変化を抑制することで、ビームの安定性を向上させます。これにより、安定した加工品質と、装置の長寿命化に貢献します。

【活用シーン】
・レーザー発振器の冷却
・光学レンズ、ミラーの冷却
・レーザー加工機の安定稼働

【導入の効果】
・ビームの安定化による加工精度向上
・装置の安定稼働による生産性向上
・部品の長寿命化によるコスト削減

【ガラス表面処理向け】洗浄の基礎知識
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ガラス表面処理の分野では、表面の清浄度が製品の品質を大きく左右します。特に、コーティングや印刷を行う前処理としての洗浄は、密着性や仕上がりの均一性を確保するために非常に重要です。不適切な洗浄は、不良品の発生や性能低下につながる可能性があります。河新の『洗浄の基礎知識が分かる!もう失敗しない洗浄機の選び方』は、洗浄の基礎から洗浄剤の種類、洗浄方法、トラブル例と解決策などを解説し、ガラス表面処理における課題解決をサポートします。

【活用シーン】
* ガラス基板の洗浄
* ディスプレイ用ガラスの洗浄
* 光学レンズの洗浄

【導入の効果】
* 表面処理の品質向上
* 不良率の低減
* コスト削減

半導体レーザ装置『LDFシリーズ』
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『LDFシリーズ』は、高出力半導体レーザのベンチマークです。

レーザ出力が20kWを超える発振器もキャスター移動可能で、一人の作業者
だけで他の場所に移動させ、製造ラインに組み込むことができます。

移動先で使用するには、電流、水、光ファイバーがあれば十分です。
当シリーズは高いビーム品質でマルチキロワットの出力が得られます。

【特長】
■実践で証明されたアクティブ半導体レーザ素子冷却技術
■全システム部品の内部ネットワーク化
■従来のシステムと互換性のあるインターフェース
■30,000時間以上操作できるように設計された丈夫なシステム
■半導体レーザ素子は5年間保証、レーザ装置は2年間保証

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

UV照射装置『MD-W1000』
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『MD-W1000』は、電源部を弁当箱サイズにダウンサイジングした
UV照射装置です。

安定器を使用せず、電子部品化により電源部本体は当社「CT-W1200」から
さらに軽量化が進み1.5kgを実現。

フロアーコーティングの完全硬化に必要な1kWのメタルハライドランプか
水銀灯を選択いただけます。

【特長】
■電子安定器タイプ
■照射部も軽量かつハイパワー仕様
■電源部重量1.6Kg
■60Hzでも50Hz地域でも使用可能
■100Vでも200Vでも使用できる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

LEDフラットリング照明
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LEDの傾き角がありません。基板がフラットの状態でリング状のLEDを配列しています。素子から直接対象物を照射します。
詳細仕様はカタログダウンロードからご覧下さい。

株式会社光学設計研究所 会社案内
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株式会社光学設計研究所は、光学機器の開発試作及び製造販売を行っております。

各種レンズユニットの試作/量産をはじめ、光計測機器、システムの開発や
技術コンサルティング、ビジネス提案などにも対応。

また、ビデオカメラ用ズームレンズ、セキュリティカメラ用ズームレンズ、
指紋/静脈認証装置、webカメラ用レンズなど豊富な開発実績がございます。

ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。

【事業内容】
■光学機器の開発試作及び製造販売

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

直管型冷陰極UVランプ
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当製品は、直管型冷陰極UVランプです。

直管で有効発光長が長いので、広範囲にUVを照射出来ます。
熱陰極UVランプより長寿命をご希望の場合、オススメ致します。
(電源などを変更していただく必要が御座います。)

【特長】
■超コンパクト
■高出力を実現
■様々な分野での応用が可能
■オゾンタイプとオゾンレスタイプをご用意

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

UVピコ秒ハイブリッドレーザ
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LDH-V1610は、固体増幅器2段構成の高出力UVピコ秒レーザです。

355nm波長はガラス、樹脂、セラミックスなどの加工に適しており、穴あけや切断など様々な加工を高い品質で実現可能です。

LED光源マスクレス露光装置 DL-1000シリーズ
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D-light DL-1000シリーズは、レジストの三次元加工を容易に実現できる機能を搭載したフォトマスクが不要なマスクレス露光装置です。
本装置は、グレースケールデータを効率的に作成・変更できるソフトウエアとDMD(Digital Micromirror Device)に転送されたグレースケール信号をピクセル(□1μm)単位で光強度に階調を持たせた2次元画像として逐次投影することのできるハードウエアから構成されています。
DL-1000を用いることで、マルチトーンマスクを使用したり多重露光をすること無く、レジストの三次元加工を容易に実現することができます。グレースケールデータの作成は、これまで階層毎に図面を描き、各レイヤーに輝度を割り当てる作業が必要でしたが、計算式の係数を変化させることで任意の多角形及び円弧をもとに滑らかなグレースケール画像(最大256階調)を生成することが可能になりました。
また、レジストの感度特性や処理条件の相違による露光結果の変動に対しても、グレースケールデータを容易に変更することができるため、求める形状を迅速に具現化することができます。

半導体レーザ・光デバイス用3Dシミュレーター PICS3D
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<主な特徴>
■共振器方向の効果が重要なデバイスの設計・解析に適しています
■モード結合理論と多層膜光学理論によりDFB,DBR,VCSELのような回折格子を
含むレーザダイオードが計算可能

<多様な物理モデルや機能>
■ウェーブガイド・グレーティングの結合係数(1次、2次のグレーティング)
■縦方向のキャリア密度分布、主・副縦モードについての光学利得と光強度
■2次グレーティングDFBレーザーについての表面放出モード分布の計算
■異なる縦モードに対する出力と周波数変化
■サイドモード比、線幅、線幅と出力の積、有効α、2次調和歪み、
  表面放出出力(2次グレーティングDFB)
■異なるレーザー面と任意のバイアス条件でのモード出力スペクトル
■異なるバイアス条件と時間におけるモード出力スペクトル
■任意のバイアス条件におけるAM/FM微小信号変調応答、FM/RINノイズスペクトル
■2次調和歪みスペクトル

■その他機能や詳細については、カタログダウンロード
  もしくはお問い合わせ下さい。

■試用版のご希望は下記のお問い合わせからご連絡ください

メタルハライド照明装置 HC-M210
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210W新技術メタルハイドランプ搭載
メタルハライド照明装置

【特徴】
○リップル±2%以下
○デジタル照明・ランプ寿命表示
○光照射強度:3500Lm
○色温度:7500K
○入力電源:AC80〜240V 50/60Hz
○使用ランプ:DC210Wショートアークメタハラランプ/形式NTP-210
○消費電力:290W
○ランプ寿命:約2000時間(光量が初期値に対し40%低下時)
○冷却方式:強制ファン冷却
○使用環境:温度+5〜+35℃(湿度70%以下)
○外形寸法:W159 x D352 x H200(mm)
○重量:約5.5Kg

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

スラブ型固体レーザー微細加工装置 IS / BX / HD シリーズ
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エッジウェーブ社製

【特徴】
○出力:IR 100W、グリーン 40W
○短パルス:5~10ns
○ビーム形状:ガウシアン、正方形、ライン
○ガラス基板ストレート穴加工

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

システム『M-Scope typeS/NFP計測システム』
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『M-Scope typeS/NFP計測システム』は、ビームスポット観察から
光デバイスの高度な光学特性解析まで対応可能な、高機能光ビーム観察・
計測光学系M-Scope typeSとその専用処理システムです。

最高200倍の光学倍率(対物レンズ100倍使用時)で、微小スポットの観察・
解析にも対応しています。

独自開発の高機能光ビーム解析ソフトウェアOptometricsにより、
光ビームパターン解析から光モジュールの実装組立まで幅広く応用が可能です。

【特長】
■手動レボルバ搭載
■複数の対物レンズの切り替えが可能
■光学倍率最高200倍(対物レンズ100倍使用時)
■微小スポットの観察・解析にも対応
■実像による位置合わせが可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

手拭き溶剤『ファンクリン ICシリーズ(レンズ・ガラス用)』
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『ファンクリン ICシリーズ(レンズ・ガラス用)』は、光学レンズや
平面ガラス等の手拭き専用のハンドクリーナーです。

従来の「エーテル+エタノール」の混合溶剤やアセトン及びメタノール等の
代替として使用可能。ハンドラップ等に入れて、ご使用中の
ペーパー等で拭き上げて下さい。

毒性も極めて低く、作業者への作業負担も大幅に軽減出来ます。

【特長】
■光学レンズや平面ガラス等の手拭き専用
■埃や有機物の除去、最終仕上げから組み立て前等に好適な環境対応型
■第1種・2種の有機測や労働安全衛生法等、消防法以外の法規制が全て非該当
■毒性が極めて低い
■作業者への作業負担も大幅に軽減

★アセトンの代替になる洗浄剤『IC-09』も販売★
※無料サンプルも進呈中です

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ラインセンサシステム開発用キット IP-View
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難しい機材の選定なしでラインセンサによる撮影を実現

本開発ライブラリを組み込んでプログラミングを行うことで、
独自のラインセンサシステムが構築可能

【特徴】
○ラインセンサ・照明・ステージ・PC・コントロールボックスなどが
 セットになっており、購入した日からすぐに撮影が可能
○高画素高精細(1フレームあたり最大約1億2千万画素撮影可能)
○インストール済みのサンプルプログラムで、ステージ制御および
 ラインセンサの制御を行い、撮影から画像の保存までが行えます
○付属の開発ライブラリマニュアルでは、サンプルプログラム作成手順に
 沿ってライブラリ関数の機能説明を行っています
○ラインセンサシステムの開発経験がない方でも、容易にプログラミングが可能
 このサンプルプログラムのソースコードもキットに添付しております

有機アルカリ系ガラス洗浄剤『セミクリーンLC-2』
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『セミクリーンLC-2』は、無機アルカリ剤に比べ母材へのダメージ性が
低い有機アルカリタイプの洗浄剤です。

無アルカリガラスやレンズに付着した指紋、パーティクル、有機物汚れ、
金属不純物の除去が可能。

成分中に金属イオンを含んでいないため、金属イオン残渣を嫌う部材の
洗浄にも安心して使用できます。

【特長】
■母材へのダメージ性が低い有機アルカリタイプ
■成分中に金属イオンを含まない
■金属イオン残渣を嫌う部材の洗浄にも安心して使用可能
■ダメージの出やすいガラス部材の洗浄にも使用可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

設備と技術でお悩みのお客様へ
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設備と技術でお悩みのお客様、そのお悩みを大浩が解決いたします。

一括受託製造の大浩なら、充実した設備と高い技術力で、効率的な
製造環境をご提供。

CLASS 1000のクリーンルームや、CLASS 100のクリーンブースを完備し、
高い技術を要する高度XYステージや、光学系装置の調整にも対応します。

【主な実績】
■光造形装置(光学系):スキャナー方式の調整
■半導体検査装置(光学系):ガルバノモータ方式の調整
■液晶検査装置:セットアップから引き渡しまでの全作業

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

100Wグリーンレーザー HD40II-E
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エッジウェーブ社製

【特徴】
○大出力100Wグリーン
○高繰り返し/高パルスエネルギー
○短パルス<10ns
○出力ビーム形状(いずれか1つを選択:ガウシアン、2Dトップ・ハットビーム、1Dトップ・ハット・ラインビーム)

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

手拭き溶剤『SH-11(レンズ・精密機器)』
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『SH-11(レンズ・精密機器)』は、精密機械・機器等のメンテナンスや、
光学レンズの汚れ落としに適した洗浄剤です。

油汚れから指紋除去まで対応可能。有機測にも非該当で、毒性も低く
作業者への負担も軽減されます。

【特長】
■精密機械・機器等のメンテナンスや光学レンズの汚れ落としに好適
■油汚れから指紋除去まで対応可能
■有機測に非該当
■毒性が低く作業者への負担も軽減
■荷姿:18Lペール缶・1L丸缶・500ml丸缶(12本入りケースから発送可能)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

顕微鏡・医療用光学機器・精密光学レンズ系 OEM製造サービス
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当社では、医療用顕微鏡をはじめ顧客のニーズに合わせた
各種精密光学機器のOEM製品を主体に生産を続けております。

老舗メーカーとしての経験を基に長年培ってきた光学技術・機械技術・
製造技術を持ってご希望のニーズに応えてまいります。

ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【設計・開発・製品例】
■工業用顕微鏡、対物レンズ
■医療用顕微鏡
■マシンビジョン用光学レンズ
■セキュリティー用レンズ
■レーザービーム光学系
■各種光学プリズム・レンズ・フィルター

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

レーザー加工サービス
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当社では、蓄積されたレーザー加工技術および設計技術をベースに
レーザー微細加工装置やレーザー応用光学ユニットの企画から
開発/設計/製作を行っております。

また、社内実験装置の設備を使用して、新しいレーザー加工や
計測などのレーザー応用技術の開発にも取り組んでいます。

【業務内容】
■レーザー応用装置の開発/設計/製作
■レーザー技術利用開発
■レーザー加工実験受託
■コンサルティング

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

産業・マシンビジョン用単焦点レンズシリーズ
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『産業・マシンビジョン用単焦点レンズシリーズ』は、
FA、マシンビジョンなど、高画質が求められる画像処理用の
超高性能なレンズシリーズです。

光学技術の粋を極めたマシンビジョンレンズ。

高い光学性能と至近距離での撮影性能を追求し、
幅広く画像処理の用途に対応します。

【特長】
<1.1型 超高性能 産業・マシンビジョン用 単焦点レンズシリーズ>
■業界最高レベルの高コントラスト・高解像度
■コーティング技術と多様なレンズを採用
■至近距離での撮影性能を追求
■操作性、利便性の向上
■タフなレンズ外観設計

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

フライアイレンズ
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「フライアイレンズ」は、プロジェクタ、露光装置用のインテグレータ
光学系レンズです。

本製品を露光装置やプロジェクタに仕様することで、照度ムラが
打ち消され照射面で周辺部まで均一で明るい照度分布が得られるため、
主に液晶パネル露光装置や半導体露光装置などに利用されています。

当社では、単レンズの制作から、レンズ接合・蒸着加工まで
一貫した自社製造を行っています。お気軽にご相談下さい。

【特長】
■照度ムラが打ち消される
■照射面で周辺部まで均一で明るい照度分布が得られる
■世界最大級の液晶パネル用露光装置向けのフライアイレンズを供給
■光学系レンズ

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

測定装置「LED配光測定装置」
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LED配光測定装置は、LED素子やLEDモジュールの配光分光分布特性を予め設定した条件で測定し、評価するためのシステムです。LED放射角は鉛直配光ステージと水平配光ステージを制御し、光検出部に対向するように位置決めを行います。そのうえで、測定条件に応じて装置の点灯電源部を制御して点灯させ、計測制御部において分光分布を測定します。これら放射角ごとに得られた分光分布をもとに光量や色彩情報を検出し、LED配光の評価を行います。評価結果より生産装置に対する光学条件や測定条件をフィードバックすることを目的としています。

【特徴】
○国内外規格(JIS、CIE)に準拠した標準LEDの配光分布特性を取得可能
○2台のカメラシステムにより、ターゲットLEDを高精度に位置決めし、
 設置することが可能
○ターゲットLEDから測定位置までの距離を任意に設定可能
○生産装置へ光学条件や測定条件を
 フィードバックするための測定結果を抽出可能
○LED点灯電源として各社製品の組み込みが可能

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

光学フィルム向け 端面切削加工機
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『フィルム端面加工機』は、当社独自のズレないワークインデックスクランプ方式と、
自動切替え可能な2本の主軸によって矩形・異形形状の積層フィルムを1サイクル
でのワンチャック全周輪郭+穴加工を実現したフィルム端面加工機です。

さらに2ステージ制の採用により、加工中のワーク供給・排出を実現させ、
劇的な生産性向上を可能と致しました。

高精度な加工と高い生産性を両立させた装置となります。

【特長】
■エンドミル単独加工方式
■フライス単独加工方式
■主軸ユニットの高剛性化と同期制御
■高剛性スピンドル採用による異形加工の高精度化
■絶対にズレないINDEX 構造

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

精密微細穴あけ光学ユニット『ビームローテータ』
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『ビームローテータ』は、別名ヘリカルドリリング加工とも呼ばれ、偏心させた
レーザ光を高速で回転させて任意の穴径に調整して加工する光学機器です。

レーザ光に傾斜(角度)をつけて回転させ、無テーパ、テーパ、逆テーパ等
加工断面をコントロール。

新ローテータ技術により、メインローテータと補正ローテータによる独自の
回転コントロールにより四角・三角・正多角形・楕円・星形等、
さまざまなレーザ軌跡による加工を実現します。

【特長】
■レンズを円運動させて多角形の加工が可能
■高アスペクト比微細精密深穴を高速で加工
■硬脆材の難加工でも加工が可能
■装置構成の簡素化を実現でき高速化もスムーズに
■新ローテータ技術による応用でドーナツ形状加工走査・塗りつぶし走査が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

CCDカメラ付き出射ユニット Type L Series
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【特徴】
●部品の加工点がモニターTVによって容易に確認できます。

【使用用途】
●ガイド光では加工点が確認出来ない微細物の位置確認
●裏面等の加工点の確認が困難な場所の溶接位置確認等

※詳細につきましては当社までお問い合わせ下さい。
http://www.thm-co.jp/yag/around.html

★試作の実施・実機見学をご希望の方は、お気軽に下記ボタンより「お問い合わせ」ください。
 サンプルのテスト加工も承っております。

伝送ライト
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伝送ライトは光量ムラ及び偏りの少ない均一な線状光源です。

FMSシリーズ(X05)
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イメージサークル 21.8mm
(条件によりセンササイズ~ φ23 対応可能)
2.0μm/ピクセルピッチ
可視光~1100 対応
Cマウント / Fマウントにも対応

パネルのホコリ検査に最適!LEDフラットライト280/420
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■照射幅420mmと280mmの2種類の照射幅をラインナップ
■PWM調光を内蔵
■省エネで高照度
■レンズ位置を調整することで光の幅の変更が可能

超軽量照射器
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本体重量3.9kgで、ハンディUV照射器ではダントツの
軽量化を図った超軽量照射器です。

【特長】

◆1kwクラスのUV照射器でははじめて軽量化に成功

◆いままでのUV照射器では電源部は25kg〜35kgはありましたが、
安定器を使用せず、電子部品化で完成しました

◆UVパテ、UV塗料の完全硬化に必要な1kWのメタルハライドランプを装備

◆通常の365ナノメーターの他。厚みのあるUV樹脂でも硬化させるために
必要な波長も出力できるよう設計しております

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=====詳細はお問い合わせください=====

エキシマレーザー微細加工装置 LB1000/1500
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小型~大型エキシマレーザーまで対応、縮小投影倍率 4~18倍固定、多彩なオプションによるカスタマイズ装置

【特徴】
○多彩な光学系オプションによるカスタマイズが可能
○必要に応じたオプションの取り付け変更も容易
○縮小投影倍率は4~18倍の間で設定が可能
○リアルタイムモニターによる観察系
○多機能ソフトウエアによるストレスの少ない操作
○専用オプションはPCからリモートコントロールが可能
○標準 200×200mm XYステージ
○エキシマレーザーの大きさ、製造元に係らず対応可能
○所有されているエキシマレーザーでも使用可能

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

小型高速波面センサ
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弊社従来品より小型のイメージセンサを採用することにより、
従来品の半分の価格の波面センサの販売を開始します!

特長
Shack-Hartmann方式を採用した、リアルタイムに波面収差を計測する装置です
・ 可視光領域において、複数の波長の測定を1台で行うことができます
・ 干渉計による計測データと比較し、高い相関があります

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光半導体・電子デバイスにおける微細な欠陥検出

光半導体・電子デバイスにおける微細な欠陥検出とは?

光半導体や電子デバイスは、現代社会を支える基幹技術です。これらのデバイスの性能や信頼性を保証するためには、製造過程で発生する微細な欠陥を早期かつ正確に検出することが不可欠です。本技術は、光や電子線を用いてデバイス表面や内部の微細な傷、異物、構造異常などを可視化・定量化し、不良品の流出を防ぐことを目的としています。

​課題

微細化・高密度化による検出難易度の増大

デバイスの小型化・高集積化が進むにつれて、欠陥も微細化・複雑化し、従来の検出手法では見逃してしまうケースが増加しています。

多様な欠陥種への対応

傷、異物、層間剥離、パターン欠けなど、欠陥の種類は多岐にわたり、それぞれに適した検出方法の確立が求められます。

高速生産ラインへの適合

生産効率を維持するためには、欠陥検出プロセスを高速化し、リアルタイムでの判定・フィードバックが可能なシステムが必要です。

非破壊検査の必要性

高価なデバイスを検査するため、欠陥検出プロセスにおいてデバイスに損傷を与えない非破壊検査技術が必須となります。

​対策

高解像度イメージング技術の活用

レーザー顕微鏡や電子顕微鏡など、高い空間分解能を持つイメージング技術を導入し、微細な欠陥を鮮明に捉えます。

AI・機械学習による自動判定

AIや機械学習アルゴリズムを用いて、膨大な画像データから欠陥パターンを学習させ、自動で高精度な欠陥検出と分類を行います。

マルチスペクトル・多角からの観察

異なる波長の光や複数の角度からデバイスを観察することで、表面だけでなく内部の欠陥や、特定の材質に起因する欠陥も検出します。

インライン検査システムの構築

製造ラインに直接組み込める高速・自動化された検査システムを構築し、リアルタイムでの品質管理を実現します。

​対策に役立つ製品例

レーザー走査型顕微鏡

微細な傷や異物を高解像度で捉え、表面の凹凸や構造異常を可視化するのに適しています。

自動画像解析ソフトウェア

AIを活用し、大量の検査画像から欠陥を自動で検出し、分類・記録することで、検出精度とスピードを向上させます。

光学式異物検査装置

特定の波長の光を照射し、表面に付着した微細な異物を高いコントラストで検出します。

電子線後方散乱回折(EBSD)分析装置

結晶構造の欠陥や配向性を分析し、材料レベルでの微細な異常を検出します。

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