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光技術・レーザー

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微細な欠陥検出とは?課題と対策・製品を解説

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光半導体・電子デバイスにおける微細な欠陥検出とは?

光半導体や電子デバイスは、現代社会を支える基幹技術です。これらのデバイスの性能や信頼性を保証するためには、製造過程で発生する微細な欠陥を早期かつ正確に検出することが不可欠です。本技術は、光や電子線を用いてデバイス表面や内部の微細な傷、異物、構造異常などを可視化・定量化し、不良品の流出を防ぐことを目的としています。

各社の製品

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【製造業向け】株式会社ニシムラ
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製造業の工程管理において、高品質なレンズの安定供給は、製品の品質と生産効率を左右する重要な要素です。特に、精密なレンズを必要とする製品においては、レンズの品質が最終製品の性能に直結します。レンズの組立不良や調整のずれは、製品の歩留まりを低下させ、コスト増につながる可能性があります。株式会社ニシムラは、レンズ組立経験30年の円熟の技で、高品質なレンズを安定供給することで、製造業の工程管理をサポートします。

【活用シーン】
・CCTV用レンズの製造工程
・FA用レンズの製造工程
・多品種少量生産におけるレンズの工程管理

【導入の効果】
・高品質なレンズの安定供給による製品品質の向上
・歩留まりの向上によるコスト削減
・多品種少量生産への対応

【製造業向け】高遮光性『遮光リング』『遮光マスク』
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製造業の品質管理においては、製品の正確な検査が求められます。特に、カメラを用いた検査工程では、光の乱反射によるゴーストやフレアが検査精度を低下させる可能性があります。これらの現象は、製品の欠陥を見逃したり、誤った判定を引き起こす原因となります。当社の遮光リング/マスクは、カメラレンズの層間に使用することで、光の乱反射を抑制し、検査精度を向上させます。

【活用シーン】
・外観検査
・寸法測定
・画像処理による検査

【導入の効果】
・検査精度の向上
・不良品の検出率向上
・検査工程の効率化

【製造業向け】AOI開発センター
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製造業においては、生産効率の向上が常に求められています。光学技術を活用した製品は、製造プロセスの自動化や品質管理の精度向上に貢献し、効率化を促進します。AOI開発センターの製品は、製造現場の課題解決に貢献します。

【活用シーン】
・製造ラインにおける製品検査
・品質管理における画像解析
・生産プロセスの自動化

【導入の効果】
・不良品の早期発見によるコスト削減
・検査時間の短縮による生産性向上
・高品質な製品の安定供給

【ガラス装飾向け】高出力CO2レーザマーカー
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ガラス装飾業界では、デザインの多様性と耐久性が求められます。レーザー加工は、繊細な模様や文字をガラスに施すことができ、デザインの自由度を格段に向上させます。また、レーザー加工は耐久性にも優れ、長期間にわたって美しい装飾を維持できます。当社の高出力CO2レーザマーカーは、ガラスへの穴あけや切断、彫刻を可能にし、装飾の幅を広げます。

【活用シーン】
・ガラス製品へのデザイン加工
・看板やディスプレイの製作
・インテリア装飾

【導入の効果】
・高精度な加工による高品質な仕上がり
・多様なデザイン表現
・高い耐久性

【ガラス表面処理向け】洗浄の基礎知識
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ガラス表面処理の分野では、表面の清浄度が製品の品質を大きく左右します。特に、コーティングや印刷を行う前処理としての洗浄は、密着性や仕上がりの均一性を確保するために非常に重要です。不適切な洗浄は、不良品の発生や性能低下につながる可能性があります。河新の『洗浄の基礎知識が分かる!もう失敗しない洗浄機の選び方』は、洗浄の基礎から洗浄剤の種類、洗浄方法、トラブル例と解決策などを解説し、ガラス表面処理における課題解決をサポートします。

【活用シーン】
* ガラス基板の洗浄
* ディスプレイ用ガラスの洗浄
* 光学レンズの洗浄

【導入の効果】
* 表面処理の品質向上
* 不良率の低減
* コスト削減

【量子ドット向け】超高純度昇華精製装置
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量子ドットディスプレイ業界では、鮮やかな色再現性と高い表示品質が求められます。特に、量子ドット材料の純度は、色再現性に大きく影響し、不純物の混入は、色純度の低下や表示ムラの原因となります。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度材料の安定供給を実現し、量子ドットディスプレイの色再現性向上に貢献します。

【活用シーン】
・量子ドットディスプレイ製造
・色再現性評価
・高機能材料の開発

【導入の効果】
・色純度の向上
・表示品質の向上
・歩留まりの改善

【レーザー加工向け】密着冷却用空冷サーモ・クーラー
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レーザー加工業界では、レーザービームの安定性が、加工精度と効率を左右する重要な要素です。特に、長時間にわたる加工や、高出力レーザーを使用する際には、熱による影響でビームが不安定になり、加工不良や装置の故障につながる可能性があります。密着冷却用空冷サーモ・クーラーは、レーザー発振器や光学部品を直接冷却し、温度変化を抑制することで、ビームの安定性を向上させます。これにより、安定した加工品質と、装置の長寿命化に貢献します。

【活用シーン】
・レーザー発振器の冷却
・光学レンズ、ミラーの冷却
・レーザー加工機の安定稼働

【導入の効果】
・ビームの安定化による加工精度向上
・装置の安定稼働による生産性向上
・部品の長寿命化によるコスト削減

【半導体露光向け】大口径両面非球面レンズ
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半導体製造業界、特に露光工程においては、高精度なレンズが不可欠です。微細加工技術の進歩に伴い、レンズには高い光学性能が求められ、わずかな歪みや収差が製品の品質に大きく影響します。当社の大口径両面非球面レンズは、露光装置の性能を最大限に引き出すために開発されました。

【活用シーン】
・露光装置
・半導体製造プロセス

【導入の効果】
・高精度な露光を実現
・歩留まり向上に貢献
・高品質な半導体製品の製造

【レーザー加工向け】非球面レンズ
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レーザー加工業界では、加工精度と効率が常に求められます。特に、レーザー光線の収束性と集光性は、加工品質を左右する重要な要素です。非球面レンズは、球面レンズと比較して収差を抑え、より高精度なレーザー加工を可能にします。当社では、お客様のニーズに合わせた非球面レンズを提供し、レーザー加工の品質向上に貢献します。

【活用シーン】
・レーザーマーキング
・レーザーカッティング
・レーザー溶接
・レーザー顕微鏡
・レーザー走査

【導入の効果】
・レーザー加工の精度向上
・加工時間の短縮
・歩留まりの向上
・製品品質の安定化
・コスト削減

【品質管理向け】液晶マイクロディスプレイ
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産業用検査、特に品質管理の分野では、製品の微細な欠陥や異常を迅速かつ正確に検出することが求められます。従来の検査方法では、検出精度や検査速度に限界があり、見落としや検査時間の長期化が課題となっています。当社の液晶マイクロディスプレイは、約100μsの高速応答と高解像度により、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・製品の外観検査
・製造ラインにおけるリアルタイム検査
・精密部品の品質評価

【導入の効果】
・検査時間の短縮
・不良品の早期発見
・品質管理の効率化

【光計測向け】長ストローク対物フォーカス P-725.xCDE2
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光計測分野では、光学イメージングや精密測定において、検出位置のフォーカス精度と安定性が結果の精度に直結します。特に微細構造の評価や高速データ取得を必要とするアプリケーションでは、高分解能フォーカス制御と応答性の高い動作性能が求められます。

P-725.xCDE2 PIFOCフォーカススキャナは、サブナノメートル分解能の位置制御と、最大800 µmのストロークを両立。PICMAピエゾアクチュエータと高精度静電容量センサー搭載のフレクシャガイド機構により、光計測装置のZ方向フォーカス調整における高い線形性と再現性を実現します。これにより、光計測におけるフォーカス位置ズレの影響を抑え、測定精度と装置の歩留まり向上に貢献します。

【活用シーン】
・共焦点顕微鏡による高精度計測
・多光子顕微鏡の高速Z走査
・高解像度イメージング評価装置
・光干渉計・位相計測装置

【導入の効果】
・サブナノメートル分解能のフォーカス制御
・最大800 µmストロークでの広い測定範囲対応
・高速応答による検査・計測時間の短縮
・PIFOC/フレクシャ構造による長期安定性

【光学向け】エアベアリング A-311
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光学レンズ研磨・加工分野では、レンズの形状精度や表面品質が最終的な光学性能を大きく左右するため、極めて高い位置決め精度と安定性が求められます。特に研磨や表面加工工程では、わずかな振動や摺動摩擦が加工精度や再現性に影響を及ぼす可能性があります。

PIglide IS A-311 は、エアベアリングによる非接触支持とリニアモータ駆動を採用した高精度XYステージです。機械的摩擦やスティックスリップを排除することで、滑らかで安定した平面動作を実現し、光学用途に求められる高い位置決め精度と繰り返し性を支えます。

光学レンズの研磨工程や、精密な表面加工・評価工程において、加工品質の安定化やプロセス再現性の向上に貢献します。また、エアベアリング構造により発塵を抑えられるため、クリーンルーム環境での使用にも適しています。

【活用シーン】
・レンズ研磨工程
・高精度な表面加工が必要な場面
・クリーンルーム環境での使用

【導入の効果】
・高精度な研磨を実現
・タクトタイムの短縮
・製品の品質向上

【製造業向け】25M CoaXPress 高速カメラ
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製造業の検査工程では、製品の品質を確保するために、高速で正確な画像検査が求められます。特に、高速で移動するワークや、微細な欠陥を見つけるためには、高解像度かつ高速なカメラが不可欠です。従来のカメラでは、速度が遅く、検査精度に限界がありました。当社の25M CoaXPress高速カメラは、2500万画素、最大150fpsの高速フレームレートを実現し、製造ラインにおける検査の効率化と品質向上に貢献します。

【活用シーン】
* 外観検査(液晶、基板、半導体ウェハなど)
* 計測
* ロボットビジョン
* NIRモデルによる、果物の打痕、不透明な容器内の容量確認、サングラスの下の顔貌確認等

【導入の効果】
* 高速移動するワークの鮮明な画像取得
* 高解像度による微細な欠陥の検出
* 検査工程の効率化
* 品質管理の向上

【光学業界向け】リアルナノ3次元測定機
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光学業界では、製品の品質管理において、表面の反射特性を正確に評価することが求められます。特に、光学レンズや反射防止膜など、光の反射を利用する製品においては、表面の微細な形状や粗さが性能に大きく影響します。不適切な表面状態は、光の散乱や損失を引き起こし、製品の性能低下につながる可能性があります。当社のリアルナノ3次元測定機は、ナノスケールでの実測を可能にし、反射特性評価における課題を解決します。

【活用シーン】
・光学レンズの表面粗さ測定
・反射防止膜の膜厚と形状評価
・光ファイバーの端面形状測定
・ディスプレイの表面評価

【導入の効果】
・高精度な表面形状測定による品質向上
・不良品の削減とコスト削減
・製品開発における迅速なフィードバック
・顧客からの信頼性向上

【光学部品向け】高純度有機材料昇華精製装置
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光学部品業界では、製品の性能を最大限に引き出すために、材料の純度が重要です。特に、光の透過率に影響を与える不純物の混入は、透明度の低下を招き、製品の品質を損なう可能性があります。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、光学部品の透明度向上に貢献します。

【活用シーン】
・光学レンズ
・ディスプレイ
・各種フィルター

【導入の効果】
・材料純度の向上
・透明度の改善
・製品品質の向上

【光学部品向け】ステルスダイシング搭載レーザー加工機
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光学部品業界では、レンズやプリズムなどの透明材料の精密な切断加工が求められます。特に、製品の性能を左右する加工精度と、歩留まりを向上させるための高品質な加工が重要です。従来のブレード方式では、微細な割れやチッピングが発生しやすく、歩留まりの低下につながることが課題です。当社のステルスダイシング搭載レーザー加工機は、浜松ホトニクス社特許技術であるステルスダイシングエンジンを搭載し、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・レンズ、プリズム、フィルターなどの光学部品製造
・サファイア、SiC、水晶、LiNbO₃などの透明材料の切断加工
・スマートフォン部品、LED関連部品などの精密加工

【導入の効果】
・微細な割れやチッピングを抑制し、歩留まりを向上
・高速加工により、生産タクトタイムを短縮
・多種多様な材料に対応し、フレキシブルな生産体制を構築

【製造業向け】液晶光学素子製品
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製造業の検査工程では、製品の品質を確保するために、高精度な検査が求められます。特に、微細な欠陥や異物を検出するためには、高速かつ高解像度な光学技術が不可欠です。従来の検査方法では、検査速度の遅さや検出精度の限界が課題となっていました。当社の液晶光学素子製品は、高速応答性と高精度な光制御により、製造ラインにおける検査工程の効率化と品質向上に貢献します。

【活用シーン】
・外観検査
・寸法測定
・異物検査

【導入の効果】
・検査時間の短縮
・不良品の早期発見
・品質管理の向上

【光学機器向け】真空成形ソフトトレー
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光学機器業界では、レンズや精密部品の品質を維持するために、防塵対策が不可欠です。輸送中や保管中にホコリや異物が付着すると、製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。真空成形ソフトトレーは、光学機器の形状に合わせた高精度な格納ポケットにより、製品を確実に保護し、防塵対策に貢献します。ハードトレーの10分の1の金型費用でコスト削減にも貢献します。

【活用シーン】
・光学レンズの輸送
・精密測定機器の保管
・カメラ部品の梱包

【導入の効果】
・製品の破損リスクを軽減
・異物混入による不良率を低減
・保管スペースの効率化

【ガラス向け】16Kラインスキャンカメラ
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ガラス業界では、製品の品質を確保するために、表面の傷や異物の検出が求められます。特に、自動車やディスプレイに使用されるガラスにおいては、わずかな傷や異物が製品の性能や外観を損なう可能性があります。16Kラインスキャンカメラは、16Kの高解像度と最大120kHzの高速ラインレートにより、ガラス表面の微細な傷や異物を正確に捉え、高速な検査を実現します。

【活用シーン】
・ガラス製品の傷検査
・異物混入検査
・高速ラインスキャン検査が必要な工程

【導入の効果】
・高解像度による詳細な検査が可能
・高速スキャンによる検査時間の短縮
・品質管理の向上と歩留まりの改善

2次元色温度計「LCC-900」
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2次元色温度計「LCC-900」は、ハンドラ装置と通信して自動セットされたモジュール型LED画像を取得し、光特性情報や良否判定結果から選別作業を行わせることができます。
2次元色温度計にはCIE XYZ等色関数をカメラに適応できるフィルターを実装することにより、人の持つ色域をカバーできる画期的カメラを採用しました。

【特徴】
○RGB画像と比較して色域が広いXYZ画像データを取得
○配光に配慮した角度補正機能により、正面にかぎらず周辺まで一度に
 広範囲の光源の色度、光度、色温度を測定、評価することができる
○2次元画像として一括取得するため、分光方式と比較してスキャン動作
 させることなく短時間に大量の測定、 評価を行うことができる
○パルス点灯光源の同期計測に対応している
○制御用プログラミングのためのDLLをご提供

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

CO2レーザー放電管
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ミヤタエレバムでは、独自の設計及びユーザーニーズに応えた
CO2発振器用の放電管の製造、ユーザー設計に基づいた
発振器用放電管のOEM製造を行っています。

サイズ10W~100Wクラス(約全長2m)まで製造可能。

この他に、金属とガラスの接合に威力を発揮する「真空回路部品」も
取り扱っています。

【特長】
■サイズ10W~100Wクラス(約全長2m)まで製造可能
■独自の設計及びユーザーニーズに対応
■医療用に、マーキング用に、用途は多様

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

紫外線照射装置 UVB-300
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【概要】
紫外線照射装置 UVB-300は、紫外線照射強度365mmを主波長とした紫外域に高い輝線スペクトルを保つ超高圧水銀ランプと、紫外域において80%以上の反射率を持つ楕円反射鏡とを組み込んだものです。 紫外線硬化に有用な紫外域が強く、熱発生の原因となる可視域、赤外域がほとんどないスペクトルが得られます。
また可視域、赤外域をカットし熱発生を抑えるフィルターをご用意しております。

【特長】
●リモート機能
シャッター、光量コントロール、ランプON/OFF操作が外部よりコントロール可能
●光量コントロール
絞り板の内蔵により連続的に光量コントロール可能
●プリセットランプ方式採用(※UVB-300のみ)
ランプ交換時の位置調整が不要なため、メンテナンスランプ交換作業が簡単に行えます。
●高効率集光光学系採用
姉妹機850W、1800Wともにワンランク上の高照度を実現

★詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい★

微細加工用レーザ光源『MPRシリーズ』
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マイクロエッヂプロセスでは、微細加工用レーザ光源である
『MPRシリーズ』を取り扱っております。

波長が900nmの赤外半導体レーザ「MPR900シリーズ」をはじめ、
20W・50W・100Wの出力を有する青色半導体レーザ
「MPR450シリーズ」や「MPR1000FLシリーズ」を各種ご用意。

ご要望に合わせてお選びいただけます。

【ラインアップ】
■MPR900シリーズ
■MPR450シリーズ
■MPR1000FLシリーズ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

株式会社光学設計研究所 会社案内
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株式会社光学設計研究所は、光学機器の開発試作及び製造販売を行っております。

各種レンズユニットの試作/量産をはじめ、光計測機器、システムの開発や
技術コンサルティング、ビジネス提案などにも対応。

また、ビデオカメラ用ズームレンズ、セキュリティカメラ用ズームレンズ、
指紋/静脈認証装置、webカメラ用レンズなど豊富な開発実績がございます。

ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。

【事業内容】
■光学機器の開発試作及び製造販売

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

加工『レンズ・プリズム・真球加工』
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『レンズ・プリズム・真球加工』は当社独自の工法で加工を行い
レンズ・プリズム・真球への加工が可能な技術です。

光学ガラスをはじめとして、セラミックス・複合材などの素材に
加工ができます。

また、真球直径はφ10~100まで対応することができますので
ご要望の際には、お気軽にご相談下さい。

【特長】
■セラミックス・ガラス・複合材に真球加工可能
■真球直径はφ10~100まで対応可能

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

ラインセンサシステム開発用キット IP-View
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難しい機材の選定なしでラインセンサによる撮影を実現

本開発ライブラリを組み込んでプログラミングを行うことで、
独自のラインセンサシステムが構築可能

【特徴】
○ラインセンサ・照明・ステージ・PC・コントロールボックスなどが
 セットになっており、購入した日からすぐに撮影が可能
○高画素高精細(1フレームあたり最大約1億2千万画素撮影可能)
○インストール済みのサンプルプログラムで、ステージ制御および
 ラインセンサの制御を行い、撮影から画像の保存までが行えます
○付属の開発ライブラリマニュアルでは、サンプルプログラム作成手順に
 沿ってライブラリ関数の機能説明を行っています
○ラインセンサシステムの開発経験がない方でも、容易にプログラミングが可能
 このサンプルプログラムのソースコードもキットに添付しております

光学フィルム向け 端面切削加工機
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『フィルム端面加工機』は、当社独自のズレないワークインデックスクランプ方式と、
自動切替え可能な2本の主軸によって矩形・異形形状の積層フィルムを1サイクル
でのワンチャック全周輪郭+穴加工を実現したフィルム端面加工機です。

さらに2ステージ制の採用により、加工中のワーク供給・排出を実現させ、
劇的な生産性向上を可能と致しました。

高精度な加工と高い生産性を両立させた装置となります。

【特長】
■エンドミル単独加工方式
■フライス単独加工方式
■主軸ユニットの高剛性化と同期制御
■高剛性スピンドル採用による異形加工の高精度化
■絶対にズレないINDEX 構造

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

顕微鏡用XY自動ステージ 【改善事例 画像処理装置との連動】
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【背景】
画像処理装置をシーケンサーでプログラムを組んで検査を行っていた。多品種少量生産のため頻繁にプログラムを変更しなければならない。

【改善事例】
画像処理装置とXYステージを連動させて、不良箇所にはマップ上にカラーマーキングします。
画像処理装置の処理開始出力、良否判定入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。
検査対象が変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。

250W水銀光源 REX-250
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248nmまでのDUV光を利用でき、波長選択・切り換えが可能なUV照射装置です。
光学フィルターによって必要な水銀輝線波長のみを取り出すことができます。
シャッター、タイマー照射、光量調整、フィルターチェンジャー、外部制御など多彩な機能を標準装備しています。

UVランプ式ファイバースポット照射装置 (LSN-U200)
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広い波長域をカバーするマーキュリーキセノンランプを搭載した、ファイバータイプのスポット照射装置です。ファイバー出射端の形状により、スポット・ライン・サークルなど照射エリアを自由な発想で設計可能です。

【資料】レーザの本質-危険性について考える
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当資料は、レーザに少しでも携わっている方、また今後携わるかもしれない方に
是非読んでいただきたい冊子です。

レーザ装置は今や身近に感じるところまで普及してまいりましたが、普及の
速度とは裏腹に"レーザの本質=危険な光である"ということへの認識は、
いまだ低いと言わざるを得ません。本誌ではそうした現状に警鐘を鳴らし、
知識の普及を目指します。

また当社では、レーザの発振原理や眼の構造とレーザ波長の関係性、
保護メガネなどの安全対策といったより深く掘り下げた内容のセミナーも
開催しています。ぜひご一読ください。

【掲載内容】
■レーザは危険?
■眼で見ることができないレーザ
■なぜ不可視レーザが怖いのか
■レーザの本質をもっと理解したいとお考えの方へ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

レーザーアブレーションシステム
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オーケーラボの取り扱う『レーザーアブレーションシステム』について
ご紹介します。

種々の顕微鏡に対応可能。均一なアブレーションが特長です。

当社では永年光学機器の開発・製造に携わって来ましたので、光学機器に
関するノウハウの蓄積があります。

また、 レンズ設計・光学シミュレーションの経験豊かなスタッフが
加わり、光学機器開発・製造の広い分野をカバーできます。
是非お任せください。

【特長】
■フェムト秒レーザー対応光学系
■近赤外800nm、紫外266nm、200nm 用光学系
■エキシマレーザー 193nm 対応光学系
■均一なアブレーション
■種々の顕微鏡に対応
■YAG その他レーザーに対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

防塵・静電気防止【ミクロハイネス】ワイピングクロス
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ミクロハイネス『ワイピングクロス』は、極細繊維を主材として、
それに特殊導電繊維を加えて静電気防止機能を与えたニット布巾です。

広範な硬軟領域の対象にワイピング(払拭)機能を発揮します。

その一例として行ったレンズ表面の払拭試験では、レンズ面に傷を付けず、
0.3μm以上の埃や汚れは綺麗に取ることが出来ました。

【特長】
■極細繊維が主材
■特殊導電繊維を加えて静電気を防止
■広範な硬軟領域の対象にワイピング(払拭)機能を発揮
■希望のサイズ、形状に編製することが可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

直管型冷陰極UVランプ
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当製品は、直管型冷陰極UVランプです。

直管で有効発光長が長いので、広範囲にUVを照射出来ます。
熱陰極UVランプより長寿命をご希望の場合、オススメ致します。
(電源などを変更していただく必要が御座います。)

【特長】
■超コンパクト
■高出力を実現
■様々な分野での応用が可能
■オゾンタイプとオゾンレスタイプをご用意

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

スラブ型固体レーザー微細加工装置 IS / BX / HD シリーズ
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エッジウェーブ社製

【特徴】
○出力:IR 100W、グリーン 40W
○短パルス:5~10ns
○ビーム形状:ガウシアン、正方形、ライン
○ガラス基板ストレート穴加工

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

レーザー「Nd:YAG/Nd:YVO・mosquitoシステム」
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「Nd:YAG/Nd:YVOシステム」は、IR(1064nm)~第4高調波(266nm)までのシステムが供給可能かつ、それぞれの用途に合わせたシステム構成が選択できるようになっています。
「超小型 mosquitoシステム」は、コンパクトなフットプリントで優れた性能を発揮。革新的なシステムアーキテクチャは、短いパルス幅、高繰返しレートでも優れたパルス安定性、回折限界に近いビームを提供いたします。

【特徴】
「Nd:YAG/Nd:YVOシステム」
○スキャナーとの組み合わせ可能
○用途に合わせたシステム構成が選択可能
「超小型 mosquitoシステム」
○超小型筐体
○MOPAシステム
○高出力(第4高調波の機種まで縦鼻)

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【加工事例】手書きのラフ図面からのフィルムマスク作成
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写真法・グラビア関係のお客様に、手書きのラフ図面からフィルムマスクを
作成した事例をご紹介いたします。

写真法での露光用フィルムを作製したいが、CAD等が無い為自ら手書きの図面を
渡すので作製して欲しいとのご依頼がありました。手書きの図面なので、
つじつまの合わない所等など、不明点等出しながら進めていきました。

実際にデータ化していく段階で情報不足やつじつまの合わない等の問題が
発生してしまいました。それらの問題を都度、お客様に確認を取り
解決しながらデータ化の完了をすることが出来ました。

【事例概要】
■課題:フィルムマスクの作製がしたく、業者様を探されていた
■結果
・作成したデータを見直し、オブジェクト数・座標ポイント数を減らすための
 修正を加えた
・情報不足やつじつまの合わない等の問題を都度、お客様に確認を取り
 解決しながらデータ化を完了

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

光学製品
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当社では、確かな品質と納得の価格で中国からの光学製品調達を
お手伝いさせていただいております。

当社は設立以来、中国で信頼できるメーカーを厳選し、日本メーカーに
提案してきました。
現在中国で30社ほど、信頼が厚いパートナーを有しています。

また、当社は以下の製品に強みを持っています。

【取扱製品】
■光学研磨レンズ
■ガラス非球面レンズ
■光学プリズム
■高精度平面基板(B270、BK7、石英など)
■FAレンズ
■CCTVレンズ
■組レンズ用鏡筒、金物

※詳しくはPDF(英語版・中国版)をダウンロードしていただくか、
 お気軽にお問い合わせください。

感光性材料関係
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光ディスク用色素、感熱色素、印刷用感光性樹脂などの記録媒体や光酸発生剤、感光性材料などを提供。光技術の革新に貢献しています。
感光性材料関係の製品としては、NS-D、PQ-C、TPPA感光体などがあり、さらにこれら以外の多官能フェノール性水酸基を持つ化合物への感光性基の導入も行なっております。
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

大出力LD電源
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株式会社ユニタックでは『大出力LD電源』を取り扱っております。

カラータッチディスプレイを採用した「コントローラー体型万能タイプ」を
はじめ「大型タイプ」や「エコノミータイプ」などを多数ご用意。

アルミ溶接・微細接合・超微細加工・樹脂溶着等の工業用レーザーの他、
治療用・医療用レーザー、その他研究用に好適です。

【ラインアップ】
■パルスレーザー源:LD及びペルチェ内蔵パルスレーザー源
■パルス/CW兼用:コントローラー体型万能タイプ
■CW用:大型タイプ/エコノミータイプ
■ペルチェドライバー内蔵LD電源
■冷加熱ペルチェドライバー

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

【イメージセンサー+レンズ+光源の一体構造】CISラインカメラ
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CISラインカメラはイメージセンサー、レンズ、光源がAll-in-Oneとなったコンパクトかつ高性能なデバイスです。
インターフェースもCamea Link Base/Full、 CoaXPress 1.1/2.0、USB3.0、10GigEと豊富に対応しております。

【WHEC CISラインカメラの特徴】
・従来のカメラと比べてサイズが小さく、薄く、軽く作れる
・~6000mmの長尺も1ユニット
・解像度は最大1200dpi
・従来のカメラユニットと比べて調整、選定の手間が省ける
・1:1の「等倍読み取り」のため、光学歪がない
・素子はCMOSであり、単一の低い電源で動作する (消費電力が少ない)
・密着して読み取るため、光量のロスが少なく、光源の消費電力も少ない(ワーキングディスタンス~約50mm)

検査用途に合わせて読取幅、解像度、インターフェース、光源の外付けなどカスタマイズでご提案いたします。
ぜひお気軽にお問い合わせ下さい。

ビームシェーパー『Focal-πShaper_1070』
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『Focal-πShaper_1070』は、フィールドマッピング型ビームシェーパーです。

透過率が非常に高いのが特長で、高出力レーザでも安定して利用できます。

付属のマウントは非常に便利です。一般的なコリメータレンズの出力側に
使われているマウントネジ(M30×0.75、またはM58×1)付きのマウントに
取り付けられておりますので、インテグレーションが容易です。

【特長】
■スパッタ低減に好適
■透過率が非常に高い
■高出力レーザでも安定して利用可能
■非常に便利な付属のマウント
■既存装置へのインテグレーションがスムーズ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

LED照明拡大鏡
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低消費電力!長寿命!交換レンズ方式のLED照明拡大鏡

◆製品特徴◆
・100個のLEDでパワフルに照らします
・ワイドENVシリーズと同等以上のワーク面照度を確保しながら、消費電力は
 35%以上削減
・低消費電力で地球にやさしい
・入力電圧範囲:100V〜240V、50/60Hz
・4万時間以上の長寿命
・連続調光機能搭載(100%〜10%) 
その他の特徴はカタログを参照下さい


黄色LED照明 DC24仕様
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「EH120-40X-power DC24Y」は、40W相当の蛍光灯2灯分の明るさ。
DC24V仕様で、危険電圧を避け、扱いやすい製品です。
CE認証も取得しております。
半導体・液晶装置メーカーにて実績あり。

貸出機のご用意もできます。

ご要望の際は、お気軽に問い合わせください。

LED同軸照明拡大鏡『サーフライトシリーズ』
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『サーフライトシリーズ』は、観察物の刻印や凹凸の輪郭をはっきりと
捉えることができるLED同軸照明拡大鏡です。

凹部に照射された光をそのまま捉えて観察可能。
倍率は2X と4X を切り替えできます。

また、レンズにはAR コーティング(反射防止コート)が施され煩わしい
映り込みが軽減されます。

【特長】
■観察物の刻印や凹凸の輪郭をはっきりと捉えられる
■凹部に照射された光をそのまま捉えて観察できる
■レンズは人間の視野に近い角形で両眼で観察物を立体的に捉えられる
■レンズにはAR コーティングが施され、煩わしい映り込みを軽減できる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

DUVピコ秒ハイブリッドレーザ
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LDH-X0810は、SPX独自のLDGS方式により実現した世界唯一の266nm 8Wピコ秒レーザです。
266nm波長はあらゆる材料への光吸収率が高く、加工難易度の高いガラスや樹脂などの透明材料や複数の材料が混ざった複合材の加工にも適しており、今までに無い高品質な加工が可能です。

★☆★加工実験承ります★☆★ 

装置『IPAベーパ乾燥装置』
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『IPAベーパ乾燥装置』は、レンズ、ガラス等を洗浄、乾燥するため装置です。

洗浄に用いる溶剤は、IPAを使用します。
当社製品は、火災や爆発を防ぐ対策を、さまざまな方式にて行っているため、
安心・安全に使用いただけます。

また、仕様や組み合わせなど、ご要望に応じて設計・製作を致しますので、
お気軽に当社へご相談下さい。

【特長】
■鋼板焼付塗装仕上
■洗浄溶剤はIPAを使用
■火災・爆発対策済み

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

シナジーオプトシステムズ株式会社 総合カタログ
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『シナジーオプトシステムズ株式会社 総合カタログ』は、主に光学機器や
精密機器の開発製造・販売を行うシナジーオプトシステムズ株式会社の
「光ビーム観察・計測光学系光ビーム測定システム」の総合カタログです。

光ビーム観察・計測光学系「M-Scope typeS/NFP計測システム」をはじめ、
その応用システムである「エンサークルドフラックス計測システム」など、
可視・光通信用近赤外レーザダイオードや各種光学モジュールのビーム観察・
評価・組立調整に最適な光学系・システムを掲載しています。

【掲載内容】
■光ビーム観察・計測用光学系ラインアップ
■システム・コンポーネントセレクションガイド

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高出力LD調芯装置『KS-203-HP』
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『KS-203-HP』は、LDと第1レンズ調芯とYAG溶接による微小光学部品の
固定を行う高出力LD調芯装置です。

第1レンズからのコリメート光をIRカメラで広がり角度/傾き角度を
測定し、適したポイントに調芯を行います。

自社製のステンレスフレームの自動ステージは剛性が高く、熱膨張が
低い為、安定した調芯が可能です。

【特長】
■オリジナルパワーメーターによる高速調芯
■オリジナルソフトウェアーはお客様に合わせたプログラムを作成可能
■自動調芯専用の高剛性
■SUS自動ステージによる安定調芯
■お客様の要望に合わせた専用調芯装置を製作可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

システム『M-Scope typeS/NFP計測システム』
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『M-Scope typeS/NFP計測システム』は、ビームスポット観察から
光デバイスの高度な光学特性解析まで対応可能な、高機能光ビーム観察・
計測光学系M-Scope typeSとその専用処理システムです。

最高200倍の光学倍率(対物レンズ100倍使用時)で、微小スポットの観察・
解析にも対応しています。

独自開発の高機能光ビーム解析ソフトウェアOptometricsにより、
光ビームパターン解析から光モジュールの実装組立まで幅広く応用が可能です。

【特長】
■手動レボルバ搭載
■複数の対物レンズの切り替えが可能
■光学倍率最高200倍(対物レンズ100倍使用時)
■微小スポットの観察・解析にも対応
■実像による位置合わせが可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光半導体・電子デバイスにおける微細な欠陥検出

光半導体・電子デバイスにおける微細な欠陥検出とは?

光半導体や電子デバイスは、現代社会を支える基幹技術です。これらのデバイスの性能や信頼性を保証するためには、製造過程で発生する微細な欠陥を早期かつ正確に検出することが不可欠です。本技術は、光や電子線を用いてデバイス表面や内部の微細な傷、異物、構造異常などを可視化・定量化し、不良品の流出を防ぐことを目的としています。

​課題

微細化・高密度化による検出難易度の増大

デバイスの小型化・高集積化が進むにつれて、欠陥も微細化・複雑化し、従来の検出手法では見逃してしまうケースが増加しています。

多様な欠陥種への対応

傷、異物、層間剥離、パターン欠けなど、欠陥の種類は多岐にわたり、それぞれに適した検出方法の確立が求められます。

高速生産ラインへの適合

生産効率を維持するためには、欠陥検出プロセスを高速化し、リアルタイムでの判定・フィードバックが可能なシステムが必要です。

非破壊検査の必要性

高価なデバイスを検査するため、欠陥検出プロセスにおいてデバイスに損傷を与えない非破壊検査技術が必須となります。

​対策

高解像度イメージング技術の活用

レーザー顕微鏡や電子顕微鏡など、高い空間分解能を持つイメージング技術を導入し、微細な欠陥を鮮明に捉えます。

AI・機械学習による自動判定

AIや機械学習アルゴリズムを用いて、膨大な画像データから欠陥パターンを学習させ、自動で高精度な欠陥検出と分類を行います。

マルチスペクトル・多角からの観察

異なる波長の光や複数の角度からデバイスを観察することで、表面だけでなく内部の欠陥や、特定の材質に起因する欠陥も検出します。

インライン検査システムの構築

製造ラインに直接組み込める高速・自動化された検査システムを構築し、リアルタイムでの品質管理を実現します。

​対策に役立つ製品例

レーザー走査型顕微鏡

微細な傷や異物を高解像度で捉え、表面の凹凸や構造異常を可視化するのに適しています。

自動画像解析ソフトウェア

AIを活用し、大量の検査画像から欠陥を自動で検出し、分類・記録することで、検出精度とスピードを向上させます。

光学式異物検査装置

特定の波長の光を照射し、表面に付着した微細な異物を高いコントラストで検出します。

電子線後方散乱回折(EBSD)分析装置

結晶構造の欠陥や配向性を分析し、材料レベルでの微細な異常を検出します。

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