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超高速3D計測の実現とは?課題と対策・製品を解説

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光半導体・電子デバイスにおける超高速3D計測の実現とは?
光半導体や電子デバイスの微細かつ複雑な構造を、極めて短時間で三次元的に計測する技術のこと。これにより、製品の品質向上、開発期間の短縮、製造プロセスの効率化を目指します。
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【光学機器向け】小型リニアエアベアリングステージ A-143
【光学アライメント向け】クリーンルーム環境での使用可 A-121
光学業界のアライメント工程では、レンズやミラーなどの光学部品を超精密に位置決めすることが求められます。特に、光軸のずれは、システムの性能を大きく左右するため、高精度な位置決めが不可欠です。従来の摩擦を利用したステージでは、微小な動きの際に摩擦の影響を受け、正確な位置決めが困難でした。PIglide A-121は、摩擦やバックラッシュを排除し、ナノメートル単位の精度で位置決めを実現することで、 光学アライメントの課題を解決します。
【活用シーン】
・光学レンズのアライメント
・ファイバーアライメント
・光ファイバーデバイスの製造
【導入の効果】
・高精度なアライメントによる光学性能の向上
・歩留まりの向上
・生産性の向上
【光学向け】最大8°チップチルトミラーステージ V-931
光通信や光学システムでは、光ビームの正確な制御と安定性が、システム性能を左右する重要な要素です。特に、光ファイバー通信や光学アライメントでは、ビームのわずかなずれや揺らぎが信号の減衰やノイズ増加を引き起こし、通信品質や測定精度に影響を与える可能性があります。
V-931は、最大8°の大角度駆動 が可能なボイスコイル駆動Tip/Tiltミラーステージです。光ビームの角度を高精度かつ高速に制御し、光学システムにおけるビーム偏向や安定化を実現します。
【活用シーン】
・光通信システムにおけるビーム調整
・光ファイバーアライメント
・光ファイバーセンサシステム
【導入の効果】
・ビーム安定化による通信品質の向上
・高精度位置決めによるアライメント効率の向上
・システム信頼性の向上
【レーザー加工向け】ダイレクトドライブ高精度回転ステージ
【フォトニクス向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753




