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フォトリソグラフィの高度化とは?課題と対策・製品を解説

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光半導体・電子デバイスにおけるフォトリソグラフィの高度化とは?
光半導体・電子デバイスのフォトリソグラフィの高度化とは、微細な回路パターンを半導体ウェハー上に形成する技術を、より高精度かつ効率的に進化させることを指します。これは、高性能化・小型化が進む現代の電子デバイス製造において不可欠な要素であり、次世代技術の実現を支える基盤となります。
各社の製品
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【量子ドット向け】超高純度昇華精製装置
【半導体露光向け】大口径両面非球面レンズ
【レーザー加工向け】SiO2(石英)リング
【光学向け】多軸位置決めステージ【MD-ZT】
光学業界では、レンズやセンサーなどの精密部品の位置合わせが、製品の性能を左右する重要な要素です。特に、高精度な位置決めが求められる場面では、わずかな誤差が製品の品質に大きな影響を与える可能性があります。ウエハ反りなどによる焦点誤差を解消し、高精度な位置合わせを実現することが重要です。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度を備え、これらの課題に対応します。
【活用シーン】
・レンズやセンサーの位置合わせ
・半導体製造におけるウエハの位置決め
・検査装置における部品の位置決め
【導入の効果】
・高精度な位置合わせによる製品品質の向上
・焦点誤差の解消による歩留まりの向上
・5軸自由度による柔軟な対応力
【光学調整向け】高推力PICMAWalkアクチュエータ
光学業界では、精密な光学系の調整において、ナノメートルレベルでの正確な位置決めが求められます。特に、光軸調整やレンズの位置決めなど、わずかなズレがシステムの性能に大きな影響を与える場面では、高精度な位置決め能力が不可欠です。不正確な調整は、画像の歪みや測定精度の低下を引き起こす可能性があります。高推力PICMAWalkアクチュエータ N-331は、ナノメートル精度で位置決めを実現し、光学系の性能を最大限に引き出します。
【活用シーン】
・光学顕微鏡の対物レンズ調整
・レーザー加工機の光軸調整
・半導体製造装置におけるウェーハ位置決め
【導入の効果】
・ナノメートルレベルでの高精度な位置決め
・光学系の性能向上
・作業効率の向上
【レーザー加工向け】非球面レンズ
【光学向け】高負荷容量リング型アクチュエータ PICA Thru
【レーザー励起向け】GTシリーズ
【光学アライメント向け】クリーンルーム環境での使用可 A-121
光学業界のアライメント工程では、レンズやミラーなどの光学部品を超精密に位置決めすることが求められます。特に、光軸のずれは、システムの性能を大きく左右するため、高精度な位置決めが不可欠です。従来の摩擦を利用したステージでは、微小な動きの際に摩擦の影響を受け、正確な位置決めが困難でした。PIglide A-121は、摩擦やバックラッシュを排除し、ナノメートル単位の精度で位置決めを実現することで、 光学アライメントの課題を解決します。
【活用シーン】
・光学レンズのアライメント
・ファイバーアライメント
・光ファイバーデバイスの製造
【導入の効果】
・高精度なアライメントによる光学性能の向上
・歩留まりの向上
・生産性の向上
【光学調整向け】XY多軸モーションシステム X-417
光学機器の調整作業では、高精度な位置決めと安定した動作が求められます。特にレンズやミラーなどの光学部品の配置調整では、微小な位置ズレが光軸のずれや焦点誤差につながり、最終的な装置性能に大きな影響を与える可能性があります。
多軸モーションシステム X-417 は、高荷重リニアステージによる XY位置決めシステムを ベースとした統合モーションプラットフォームです。サーボモータ+ボールねじステージ、またはリニアモーターステージを選択でき、用途に応じて Z軸の追加など柔軟な構成が可能です。高精度な位置決め性能と安定した動作により、光学部品の精密調整や光学系の組み立て工程をサポートします。
【活用シーン】
・レンズやミラーの位置調整
・光学系の組み立て
・精密検査
【導入の効果】
・高精度な位置決めによる品質向上
・作業時間の短縮
・歩留まりの向上
【ガラス装飾向け】高出力CO2レーザマーカー
【レーザー加工向け】開口部66×66mm 多軸ピエゾスキャナー
レーザー加工業界では、レーザービームの精密な位置決めと制御が、加工精度と効率を左右する重要な要素です。特に、微細加工や高速加工においては、ナノレベルの精度と高い応答性が求められます。従来の制御方法では、位置決め精度や応答速度に限界があり、加工品質の低下や生産性の停滞を招く可能性がありました。P-517/527マルチ軸ピエゾスキャナは、摩擦ゼロのフレクシャガイドとPICMAピエゾセラミック、静電容量 センサーを用いて、ナノレベルの再現性、分解能を実現し、レーザービームの精密な位置決めと制御を可能にします。
【活用シーン】
・レーザーマーキング
・レーザー切断
・レーザー微細加工
・レーザー走査
【導入の効果】
・高精度なレーザー加工を実現
・加工時間の短縮
・歩留まりの向上
・多様な加工への対応
【2023年4月19日~21日】「レーザーEXPO」開催のご案内
当社は、パシフィコ横浜にて「レーザーEXPO」を開催いたします。
情報通信、材料加工、計測など広範にわたる応用においてレーザー技術が
採用され、市場も拡大傾向にあります。本展は研究・開発、生産に至る、
国内外のレーザー製品が一堂に会するレーザー技術総合展です。
製造加工業など光分野に関係のあるお客様は、この機会に是非ご参加下さい。
皆様のご来場を、心よりお待ちしております。
【概要】
■会期:2023年4月19日(水)~21日(金) 10:00~17:00
■会場:パシフィコ横浜(〒220-0012 神奈川県横浜市西区みなとみらい1-1-1)
■入場料:無料(但し、完全事前登録制)
■7つの展示会によって構成される「OPIE'23」内で開催
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
防曇膜など多数実績あり 成膜コーター『SPM-300シリーズ』
『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した
成膜コーターです。
塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し
1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。
常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で
高価な真空設備コストを大幅に削減します。
粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。
排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応でき ます。
弱酸性、弱アルカリ性、各種有機溶剤の使用が可能です。
【特長】
■塗布材料の塗着効率が高い
■常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要
■粒径の大きな固形物が混合されている材料の使用可能
■排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応可能
■弱酸性、弱アルカリ性、各種有機溶剤の使用可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
TSラボの特長
TSラボ株式会社は、照明機器の開発、製造、販売などを
行っている会社です。
1台のカスタム設計から量産まで対応可能(量産時は協力会社による
生産体制を構築)。LOTに合わせた好適設計、工法設計を実現します。
また、量産時の設計、製造管理、品質マネージメントについても
高いスキル、知識を保有しております。
【事業内容】
■照明機器の開発、製造、販売
■紫外線照射装置の開発、製造、販売
■LED導光板照明の開発、製造、販売
■光学機器の開発、製造、販売
■電子応用装置、電子制御機器の開発、製造、販売
■各種コンサルティング業務
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
フライアイレンズ
「フライアイレンズ」は、プロジェクタ、露光装置用のインテグレータ
光学系レンズです。
本製品を露光装置やプロジェクタに仕様することで、照度ムラが
打ち消され照射面で周辺部まで均一で明るい照度分布が得られるため、
主に液晶パネル露光装置や半導体露光装置などに利用されています。
当社では、単レンズの制作から、レンズ接合・蒸着加工まで
一貫した自社製造を行っています。お気軽にご相談下さい。
【特長】
■照度ムラが打ち消される
■照射面で周辺部まで均一で明るい照度分布が得られる
■世界最大級の液晶パネル用露光装置向けのフライアイレンズを供給
■光学系レンズ
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
特注システム製品 「フィルム基板張合せ装置」
ワイヤード株式会社では数多くのシステム製品、特注製品などを手がけております。
光学設計及び検査装置、特注自動(手動)ステージ、防振台など客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながらきめ細かなところまでお客様 の立場に立って設計製作させて頂いております。
また、ワイヤード株式会社で出来る範囲を明確にすることにより、製作品の完成度の向上をはかっております。
特注品にありがちな不具合などを出来るだけ少なくするシステムで製作を進めさせて頂いております。
【特徴】
○客先のニーズに合わせた操作性、コスト、納期などを重視しながら
きめ細かなところまでお客様の立場に立って設計製作を行っている
○出来る範囲を明確にすることにより、
製作品の完成度の向上をはかっている
○特注品にありがちな不具合などを
出来るだけ少なくするシステムで製作している
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
DUVピコ秒ハイブリッドレーザ
300Wキセノン光源 MAX-351
直管型冷陰極UVランプ
精密微細穴あけ光学ユニット『ビームローテータ』
『ビームローテータ』は、別名ヘリカルドリリング加工とも呼ばれ、偏心させた
レーザ光を高速で回転させて任意の穴径に調整して加工する光学機器です。
レーザ光に傾斜(角度)をつけて回転させ、無テーパ、テーパ、逆テーパ等
加工断面をコントロール。
新ローテータ技術により、メインローテータと補正ローテータによる独自の
回転コントロールにより四角・三角・正多角形・楕円・星形等、
さまざまなレーザ軌跡による加工を実現します。
【特長】
■レンズを円運動させて多角形の加工が可能
■高アスペクト比微細精密深穴を高速で加工
■硬脆材の難加工でも加工が可能
■装置構成の簡素化を実現でき高速化もスムーズに
■新ローテータ技術による応用でドーナツ形状加工走査・塗りつぶし走査が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
インバータ型・マイクロ波無電極UV装置





















