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光技術・レーザー

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レーザー加工の高速化とは?課題と対策・製品を解説

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光半導体・電子デバイスにおけるレーザー加工の高速化とは?

光半導体や電子デバイスの製造プロセスにおいて、微細かつ高精度な加工を実現するためにレーザー技術が不可欠となっています。この「レーザー加工の高速化」とは、加工時間を短縮し、生産性を向上させることを目的としています。これにより、デバイスのコスト削減や市場投入までのリードタイム短縮が期待されます。

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【光学部品向け】ステルスダイシング搭載レーザー加工機
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光学部品業界では、レンズやプリズムなどの透明材料の精密な切断加工が求められます。特に、製品の性能を左右する加工精度と、歩留まりを向上させるための高品質な加工が重要です。従来のブレード方式では、微細な割れやチッピングが発生しやすく、歩留まりの低下につながることが課題です。当社のステルスダイシング搭載レーザー加工機は、浜松ホトニクス社特許技術であるステルスダイシングエンジンを搭載し、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・レンズ、プリズム、フィルターなどの光学部品製造
・サファイア、SiC、水晶、LiNbO₃などの透明材料の切断加工
・スマートフォン部品、LED関連部品などの精密加工

【導入の効果】
・微細な割れやチッピングを抑制し、歩留まりを向上
・高速加工により、生産タクトタイムを短縮
・多種多様な材料に対応し、フレキシブルな生産体制を構築

【光学機器向け】ACS-4-5 エアベアリングシリンダ
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光学機器業界では、レンズ調整において、ミリ単位以下の微細な動きが求められます。特に、高精度な位置決めと滑らかな動作が、製品の品質を左右する重要な要素となります。
従来のシリンダでは、摩擦抵抗による微小な動きの制御の難しさや、位置決めの精度に課題がありました。藤倉コンポジットのACS-4-5は、エアベアリング技術により摩擦抵抗をゼロにし、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・顕微鏡
・カメラ
・望遠鏡
・各種測定器

【導入の効果】
・高精度なレンズ調整が可能に
・製品の品質向上
・装置の小型化・軽量化

【光学部品向け】コンパクトな設計ながら6軸の動作を実行可能
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光学部品業界では、正確で要求の厳しい位置決めが品質を左右する重要な要素です。当社のH-815産業用ヘキサポッドは、高精度な位置決めを実現し、製品の品質向上に貢献します。

【活用シーン】
・フォトニクスにおける要求の厳しいアライメントプロセスに対応
・レンズやその他の光学部品などの極めて小さな部品のアライメント

【導入の効果】
・複雑な製造・計測プロセスの生産性を向上
・小さな部品のアライメント
・高負荷サイクルに対応した長寿命設計

【フォトニクス向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
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フォトニクス分野では、光学素子や光ファイバーの位置決めにおいて、ナノメートルレベルの分解能と高い再現性が求められます。P-753 LISAは、15~38 µmのストローク(モデルによる)と最小0.1 nmの分解能(適切なコントローラ使用時)を備えたコンパクトなリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。光学アライメントや微小位置補正用途において、安定したナノポジショニングを提供します。

【活用シーン】
・光ファイバーアライメント
・光ファイバーアライメント
・光学素子の微調整・位置補正
・レーザービーム経路の精密位置決め
・フォトニックデバイス評価

【導入の効果】
・ナノメートルレベルの位置決め分解能
・バックラッシュのない高再現性動作
・コンパクト設計による装置組込み適性

【研究向け】6自由度フォトニクスアライメント F-713.Hxx
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研究・実験分野において、フォトニクスデバイスや光ファイバーの高精度アライメントは、結合効率や測定結果の再現性に大きく影響します。特にSiPhウェーハやPICを用いた評価では、ナノメートル分解能での6自由度位置決めと、高速な探索動作が求められます。F-713コンパクト高速6自由度フォトニクスアライメントシステムは、Hexapodベースの6DoF制御と高速スキャン機能を組み合わせ、効率的な自動アライメントを実現します。マルチチャネル測定にも対応し、研究室環境での柔軟な実験構成が可能です。コンパクト設計のため、光学テーブル上での使用や既存実験系への統合にも適しています。

【活用シーン】
・SiPhウェーハおよびPICの光結合評価
・光ファイバーとフォトニックデバイスのアライメント実験
・シリコンフォトニクス研究
・光学系の微調整および最適化

【導入の効果】
・アライメント工程の高速化
・実験時間の短縮
・再現性の高い光学評価
・ナノレベルの高精度位置決め

【ガラス装飾向け】高出力CO2レーザマーカー
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ガラス装飾業界では、デザインの多様性と耐久性が求められます。レーザー加工は、繊細な模様や文字をガラスに施すことができ、デザインの自由度を格段に向上させます。また、レーザー加工は耐久性にも優れ、長期間にわたって美しい装飾を維持できます。当社の高出力CO2レーザマーカーは、ガラスへの穴あけや切断、彫刻を可能にし、装飾の幅を広げます。

【活用シーン】
・ガラス製品へのデザイン加工
・看板やディスプレイの製作
・インテリア装飾

【導入の効果】
・高精度な加工による高品質な仕上がり
・多様なデザイン表現
・高い耐久性

【レーザー技術向け】極低温サーモクーラー
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レーザー技術分野では、レーザー素子の温度管理が性能維持の鍵となります。素子の温度上昇は、出力の低下や寿命の短縮につながるため、正確な温度制御が不可欠です。特に、高出力レーザーや精密な実験においては、安定した冷却環境が求められます。サーモクーラー VLシリーズは、-50℃までの極低温環境を提供し、レーザー素子の最適な動作温度を維持することで、性能を最大限に引き出します。

【活用シーン】
・レーザー素子の冷却
・レーザー実験における温度管理
・レーザー加工における安定した性能維持

【導入の効果】
・レーザー素子の寿命延長
・レーザー出力の安定化
・実験精度の向上

【フォトニクス向け】高速Tip/TiltピエゾステージS-331
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フォトニクス分野では、レーザービームの角度制御や位置安定性が、結合効率やシステム性能を大きく左右します。特に光ファイバー結合やビームステアリング、高速補正制御では、高い応答性と分解能、そして優れたダイナミクス特性が不可欠です。

S-331は、最大10 kHzの高い共振周波数を誇る高速Tip/Tiltピエゾステージです。高分解能かつ高速応答を両立し、リアルタイムでのビーム補正や精密な角度制御を実現。フォトニクスシステムにおける集光効率向上と安定動作に貢献します。

【活用シーン】
・レーザービームステアリング
・光ファイバーへの高効率結合
・高速ビーム補正制御
・光学アライメント/安定化用途

【導入の効果】
・高速かつ高精度なビーム角度制御
・結合効率の向上と損失低減
・リアルタイム補正による安定化
・フォトニクス装置の性能最大化

【レーザー加工向け】非球面レンズ
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レーザー加工業界では、加工精度と効率が常に求められます。特に、レーザー光線の収束性と集光性は、加工品質を左右する重要な要素です。非球面レンズは、球面レンズと比較して収差を抑え、より高精度なレーザー加工を可能にします。当社では、お客様のニーズに合わせた非球面レンズを提供し、レーザー加工の品質向上に貢献します。

【活用シーン】
・レーザーマーキング
・レーザーカッティング
・レーザー溶接
・レーザー顕微鏡
・レーザー走査

【導入の効果】
・レーザー加工の精度向上
・加工時間の短縮
・歩留まりの向上
・製品品質の安定化
・コスト削減

【レーザー向け】石英基板
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レーザー業界では、レーザー光の反射・透過特性を最適化するために、高品質なミラー基板が求められます。特に、高出力レーザーや精密な光学系においては、基板の精度がレーザーの性能を大きく左右します。基板の歪みや表面粗さは、レーザー光の減衰やビーム品質の低下を引き起こす可能性があります。当社の石英基板は、端面研磨や斜面研磨など、お客様のニーズに合わせた加工が可能です。高い光学特性と耐久性を実現し、レーザーシステムの性能向上に貢献します。

【活用シーン】
・レーザー発振器
・レーザー加工機
・光学実験

【導入の効果】
・レーザー光の反射率・透過率の向上
・ビーム品質の改善
・レーザーシステムの安定性向上

【レーザー加工向け】密着冷却用空冷サーモ・クーラー
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レーザー加工業界では、レーザービームの安定性が、加工精度と効率を左右する重要な要素です。特に、長時間にわたる加工や、高出力レーザーを使用する際には、熱による影響でビームが不安定になり、加工不良や装置の故障につながる可能性があります。密着冷却用空冷サーモ・クーラーは、レーザー発振器や光学部品を直接冷却し、温度変化を抑制することで、ビームの安定性を向上させます。これにより、安定した加工品質と、装置の長寿命化に貢献します。

【活用シーン】
・レーザー発振器の冷却
・光学レンズ、ミラーの冷却
・レーザー加工機の安定稼働

【導入の効果】
・ビームの安定化による加工精度向上
・装置の安定稼働による生産性向上
・部品の長寿命化によるコスト削減

【光学機器向け】パンチピンによるレンズ金型加工
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光学機器業界では、レンズの精密な形状と高い品質が求められます。レンズの性能は、金型の精度に大きく左右され、パンチピンの品質が重要になります。パンチピンの摩耗や精度不足は、レンズの品質低下や製造効率の悪化につながる可能性があります。当社パンチピンは、超硬合金やPCD(人工多結晶ダイヤモンド)等の材質を使用し、レンズ金型加工における高い精度と耐久性を実現します。

【活用シーン】
・レンズ金型加工
・精密部品加工
・金型部品の交換

【導入の効果】
・レンズの高品質化
・金型寿命の延長
・加工精度の向上

回折光学素子
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古河電子の回折光学素子についてご紹介します。

図形・文字やセンサー用ドットプロジェクターなど、様々な
パターンの光を作製可能。

効率重視、均一性重視、ノイズ強度抑制など、お客様の
ご要望に応じた設計を行い、1個から試作対応いたします。

ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。

【特長】
■高効率:80%~90%台後半
■優れた強度均一性:強度バラツキ<±5%
■0次光抑制:<1%(入射光強度比)
■低ノイズ
■短納期:設計から納入まで1~1.5か月

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

垂直スタック
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当社で取り扱っている「垂直スタック」についてご紹介いたします。

動作は、Uncollimated(EN)とFast-Axis Collimated(EY)において
水冷によりCWとQCWが可能。おなじく水冷式でBoth Axis Collimated(EB)は
CWで利用できます。

また、2,200本のバーと同じくらい高く、二次元の配列で
構成されることができます。

【特長】
■水冷によりCWとQCWが可能
■水冷式でBoth Axis Collimated(EB)はCWで利用可能
■50%のデューティーが可能
■2,200本のバーと同じくらい高く、二次元の配列で構成
■ピークパワーは、2%のデューティで300Wに達することが可能
■Fast-axisコリメートバージョンは1.6mmピッチが可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

UVピコ秒ハイブリッドレーザ
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電光シリーズのLDH-V0410は、ビーム品質にこだわり開発された発振器です。

355nm波長はガラス、樹脂、セラミックスなどの加工に適しており、より品質を重視する薄膜の穴開けやパターニング加工に最適な製品です。

駆動電流値表示付きLD光源ユニット
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必要な機能と形で製作、
LD光源の出力を一定のままファイバー出力をON、OFFで便利に。
オルサより、駆動電流値表示付きLD光源ユニットのご紹介です。

■□■特徴■□■

■LD光源の出力を一定のままファイバー出力をON、OFF
■光出力を可変可能
→出力パワーの再現性が正確に保たれる
■青色レーザー・エネルギーによるファイバー・コアの損傷も防げる

その他機能や詳細については、カタログダウンロード
もしくはお問い合わせ下さい。

レーザーダイオードモジュール『ilum VISION』
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『ilum VISION』は、自動検査、プロセス制御、ロボットガイド等の
均一線幅を必要とするマシンビジョンアプリケーション用に好適な
レーザーダイオードモジュールです。

小構造対応に必要な高解像度、又は、高域動作に対してオプションとして
“細いライン光”か“高焦点深度光”をご提供できます。

その他にも場所問わず手軽に使える「FIBERPOINT」も取り扱っております。

【特長】
■レーザーモジュール
■均一性線
■調整可能焦点
■2種類の波長とビーム角度

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高出力産業用フェムト秒レーザー イフリート
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フェムト秒レーザーは、光通信デバイス、金属部品、透明材料、半導体への微細加工や医療・バイオ技術、計測技術への高付加価値利用が期待されてます。  長寿命性、高い耐環境性、短いウォームアップ時間に加えて、小さなフットプリントの New IFRIT は、産業用途から研究用途まで、皆様のご期待に幅広くお応えいたします。

中型レーザー加工機「SPIRIT LS PRO」
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SPIRIT LS PROは、中型タイプのCO2レーザー加工機(レーザーカッター)です。
印刷業界でレーザーカッターに求められるのは、トムソン等の抜き加工では難しい微細な紙の切抜き加工です。
紙等のカットした際に焦げの発生しやすい素材をキレイにカットするには、素早くカットすることが重要です。
SPIRITなら入り組んだ細かなカットでも素早く加工し、焦げを軽減します。

【特徴】
■ワット数:40W/80W
■加工エリア:640×460mm
■最大駆動速度:3,048mm/秒
■前後扉開放で長尺加工可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ガルバノ光学スキャナ『GVMシリーズ』
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『GVMシリーズ』は、光学式の高精度アナログセンサを搭載した、高性能で高信頼性のガルバノスキャナーです。低イナーシャ、高トルク、高精度リニアリティ、高位置精度、優れた温度特性、湿度の影響が少ないなどの特徴を有しており、レーザ用ミラー(ガルバノミラー)を高速・高精度に広範囲に走査することが可能です。当製品は、幅広いガルバノシステムでレーザスキャン用途に採用されて
います。

【特長】
■低イナーシャ・高トルク
■高精度なリニアリティー・位置精度
■湿度の影響が少なく優れた温度特性 
■均一な安定した製品

※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい

クローズドループガルバノメータスキャナ『62xxHシリーズ』
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『62xxHシリーズ』は、独自のポジションディテクタを装備した先進
ムービングマグネット型モータ技術が組み込んだスキャナです。

この特許技術は高い位置安定性と超高速走査を同時に実現していることを
特長としています。

ミラーサイズ(ビーム口径3-50mm)、各波長のミラーコーティングの幅広い
オプションをラインアップしています。

【特長】
■長時間優れた信頼性で最大限のスループットを実現
■走査アプリケーションのニーズに合わせた高い精度のパフォーマンス
■堅牢設計で長期間に渡る一貫した安定性をサポート
■コンパクトサイズ・狭いスペースにも容易に設置

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ピコ秒レーザー『P303 Picosecond Laser』
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『P303 Picosecond Laser』は、優れたビーム品質・出力安定・コンパクトな
デザインを兼ね備えたピコ秒レーザーです。

ファイバーレーザテクノロジーLD増幅器を結合する事により、
パルスエネルギーが200μ以上・パルス幅が<15ps・アベレージ出力>30Wを
実現しました。

【特長】
■繰り返し周波数:150-1000kHz
■ビームモード:TEMOO(M2<1.3)
■コンパクト設計
■RS232とecternal GATE control保有
■クリーンルームクラス1000の環境にてアッセンブル

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

ECRプラズマ成膜装置『AFTEX-6000シリーズ』
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『AFTEX-6000シリーズ』は、低圧で高密度のECRプラズマ流と、スパッタ粒子を
直接反応させることにより、低温・低ダメージで高品質の薄膜を形成します。

ECRプラズマ源2基を搭載し、全自動搬送・成膜ができ、多層膜形成に最適。

【特長】
■広範囲な膜種による多層成膜
■高屈折率制御が可能
■高速で成膜が可能
■低温・低ダメージで高品質、高結晶性
■基板および成長面のクリーニング効果

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

水冷式 YAGレーザ冷却装置 P14
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YAGレーザの発光時の発熱を純水で冷却するためのもので、純水器、ポンプ、タンク、温度制御部よりなっており、組み込み用で空冷式(P23)と水冷式(P14)があります。


【特徴】
○純水器・ポンプ・タンク・温度制御部より構成
○適用レーザ出力:50W
○純水器:内蔵
○フィルター:5ミクロン
○ポンプ:ステンレスポンプ 0.4KW
○温度制御方式
 熱交換器により純水と冷却水を熱交換
 冷却水開閉により制御
○空冷式(P23)もご用意

スラブ型固体レーザー微細加工装置 IS / BX / HD シリーズ
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エッジウェーブ社製

【特徴】
○出力:IR 100W、グリーン 40W
○短パルス:5~10ns
○ビーム形状:ガウシアン、正方形、ライン
○ガラス基板ストレート穴加工

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

『株式会社ルクスレイ 取扱レーザー製品 総合カタログ』
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『株式会社ルクスレイ 取扱レーザー製品 総合カタログ』は、取り扱っている、世界のレーザー製品を掲載しています。
630~2300nm の幅広い波長で、マウントバーから完全なターンキーシステムまで、高出力ダイオードレーザーによる幅広いコンポーネントを提供します。
他に、パルスレーザー製品を紹介しています。

【掲載製品】
○半導体レーザーダイオード
○ウルトラショートパルスレーザー 他

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

金属鏡
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『金属鏡』は、平面、凹面、凸面、非球面鏡の種類があります。

Al、Auコートなどの材質を使用しており、機能、耐久性に優れています。

主に炭酸ガスレーザーの光学素子として利用されており、大出力CO2レーザー
の光学素子、各種コリメーション、コンデンサー光学系などにご利用頂けます。

【特長】
■種類豊富なラインアップ
■機能、耐久性に優れる
■炭酸ガスレーザーの光学素子として利用されている

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『レーザー用交換部品』
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『レーザー用交換部品』は、溶接トーチ、チップ、ロボットトーチ、
環境機器製造販売、光学部品販売を行うトーキンが発行するカタログです。

CO2レーザーのしくみをはじめ、高精度・高速度、先端加工技術レーザー用
光学部品などを多数掲載しています。

【掲載内容】
■レーザー光学部品
・CO2レーザーしくみ
・CO2レーザー「レンズ」
・CO2レーザー「ミラー」
・CO2レーザー「クリーニング」
・YAGレーザー「ウィンドウ・レンズ」
・CO2レーザー品番一覧表
・YAGレーザー品番一覧表 ほか

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

フューズドシリカ光ファイバ
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エジスモスは、シングルモード光ファイバケーブル、マルチモード光ファイバプローブとマルチファイバーケーブルアセンブリーを用いたシリカファイバケーブル及び光ファイバープローブをカスタマイズして提供します。
また、エジスモスもコネクタとスリーブタイプの多くの種類を提供します。
フューズドシリカ光ファイバケーブルは通常にシングルモードファイバレーザ及びレーザ伝送に応用です。さらに、特に高出力の青色と紫外光レーザーの結合されるのことです。

インバータポンプ PD
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インバータポンプ PDは、一般に用いられている誘導電動機と比べると効率が向上、省エネに役立ちます。あらゆる仕様要求に対し適切な設計を行います。ご要求に応じカスタム対応も可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

ガラス加工サービス
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当社は、放電ランプ、ガラス加工を主として取り扱っております。

他社には負けない熟練の高い技術で、常に新たな可能性に挑み、
お客様の多様なニーズにお応えしております。

多種多様なガラス加工品、単品、試作品、量産前の試作製造など、
お気軽にお問い合わせ下さい。

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

全自動芯取機『TCH-2KS-TL3型』
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『TCH-2KS-TL3型』は、材料が硬く、高負荷を伴う車載レンズ等の加工に
適した横型の自動芯取機です。

レンズや平面ガラスの外周と斜面取り加工を行い、車載レンズ特有の
形状から起こるチッピング問題についても対策しています。

また、丸形状だけでは無く、異形形状についてもタッチパネルより
図形を選び、数値を入力するだけで簡単に形状加工が可能です。

【特長】
■レンズの形状・材質に適した砥石送りスピードを自由に入力可能
■砥石軸のインバータ化とワーク軸のパワーアップを標準化
■○・D・I・□・小判・楕円状の加工が簡単に可能
■繰り返し位置決め精度が高く、小径レンズにも対応可能
■砥石移動量を自動補正

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

光反応用LED光源 照射タイプ『Iris-S』
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『Iris-S』は、新設計の光学エンジンと制御基板を採用することで、
均一で安定した光を低消費電力で提供する照射装置です。

単色光で高光量の出力が可能で、LEDを光源に採用することで光源の寿命が
長くなり、さらに発熱が抑えられるので長時間の連続照射が可能です。

APCにより光強度を一定に保ち、安定した光を照射できます。
PC等とコントローラをRS-232Cにて接続する事で、LEDの照射強度(APC)
/電流値(ACC)の変更、照射のON/OFF等の制御が可能です。

【特長】
■均一で安定した光を低消費電力で提供
■単色光で高光量の出力
■光源寿命が長い
■長時間の連続照射可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

CW DUVレーザ『Frequadシリーズ』
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『Frequadシリーズ』は、長年にわたる歴史を持つ深紫外(DUV)波長266nm
連続波(CW)単一周波数波長変換レーザのFrequad-HP、Frequad-M、Frequad-Cの
技術をもとに、新たな波長を発生するCW DUV波長変換レーザです。

266nm Frequadシリーズで培った非線形結晶、サーボロッキング技術を搭載し、
安定で長寿命のCW動作を実現。

ご要望に合わせて、さまざまな波長のCWレーザをご提案いたします。

【特長】
■高信頼性非線形光学結晶
■洗練されたサーボロック技術

※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

レーザーアライメントペーパー
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ザップイット社のレーザーアライメントペーパーZAP-ITは、UVからIRまでのパルスレーザーのバーンパターンのプロファイルを簡単に確認できます。その他にレーザー機器のビームアライメントにもお役立て頂けます。レーザーはCWの場合は、チョッパー等により擬似的パルス光にしてご使用頂けます。

特殊光ファイバ『マルチモードファイバ』
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『マルチモードファイバ』は、モード状態が多数の状態のものを呼びます。

特殊シリカコア/フッ素添加クラッド光ファイバはコアに石英ガラスを、
クラッドにフッ素添加石英ガラスの構造をもった光ファイバです。

紫外線から赤外線まで幅の広いスペクトルの光を透します。

お客様のご要望に応じた光ファイバの設計、製造、評価まで一貫した製品作りを
行っておりますので、オリジナルファイバの製作が可能です。

【特長】
■短距離伝送用
■高エネルギー伝送
■接続が容易
■低波長依存性

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

自動調芯ユニット
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自動調芯ユニットPGAL1006は、高速調芯技術「PGAL−1アクティブアライメント方式」による超高速調芯ユニットです。

セパレート型ストロボ電源シリーズ
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『セパレート型ストロボ電源シリーズ』は、内部発振及び外部同期などの
機能を搭載したマルチタイプのストロボ電源です。

電源部と発光部がセパレートタイプのため、用途に応じて
様々な形状・照射範囲の発光部を選択いただけます。

【機能】
■内部発振機能
■外部信号同期機能
■接点信号同期機能
■電源周波数同期機能
■X接点機能(PS-240D/PS-250D)

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

IRセンサーカード
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YAGレーザーなど赤外レーザーを可視光に変換し、ビーム位置の検知やモード形状の判定などに使用できます。また高輝度の連続発光が可能です。

CCDカメラ付き出射ユニット Type L Series
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【特徴】
●部品の加工点がモニターTVによって容易に確認できます。

【使用用途】
●ガイド光では加工点が確認出来ない微細物の位置確認
●裏面等の加工点の確認が困難な場所の溶接位置確認等

※詳細につきましては当社までお問い合わせ下さい。
http://www.thm-co.jp/yag/around.html

★試作の実施・実機見学をご希望の方は、お気軽に下記ボタンより「お問い合わせ」ください。
 サンプルのテスト加工も承っております。

面照射用UV-LED光源装置 MK-LS-80S
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MK-LS-80Sは、ご要望の照射エリアへの照射が可能な面照射用UV-LED光源装置です。UV-LED波長は、365・385・395・405nmの選択が可能です。電源はAC100~240V 50/60Hz、消費電力は約450VA(出力100%時)です。照射ヘッド部の冷却は水冷式を推奨します。電源部の冷却はFAN空冷です。使用環境温度は0~40℃です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

パイロットレーザー『Duplex modul』
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『Duplex modul』は、IMM Photonics社が独自開発をしたメディカル
エンジニアリング及びマテリアルプロセシングで使われるハイパワー
レーザーシステム用パイロットレーザーです。

光ファイバーの端面がペアーエンド、または市販の光ファイバーコネクターを
取付ける事が可能。
ご要望に応じて各種光ファイバー及びご要望の長さに対応できます。

また、高性能レーザーとしての安全性の確保のため、ストップフィルターを
組み込んでいますので、レザーダイオードに影響を及ぼす反射光を防いでいます。

【特長】
■寸法が小さい
■高い機械的安定性
■複数の調整が可能
■少量でコストパフォーマンスに優れる

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

レーザー「Nd:YAG/Nd:YVO・mosquitoシステム」
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「Nd:YAG/Nd:YVOシステム」は、IR(1064nm)~第4高調波(266nm)までのシステムが供給可能かつ、それぞれの用途に合わせたシステム構成が選択できるようになっています。
「超小型 mosquitoシステム」は、コンパクトなフットプリントで優れた性能を発揮。革新的なシステムアーキテクチャは、短いパルス幅、高繰返しレートでも優れたパルス安定性、回折限界に近いビームを提供いたします。

【特徴】
「Nd:YAG/Nd:YVOシステム」
○スキャナーとの組み合わせ可能
○用途に合わせたシステム構成が選択可能
「超小型 mosquitoシステム」
○超小型筐体
○MOPAシステム
○高出力(第4高調波の機種まで縦鼻)

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

LED光源マスクレス露光装置 DL-1000シリーズ
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D-light DL-1000シリーズは、レジストの三次元加工を容易に実現できる機能を搭載したフォトマスクが不要なマスクレス露光装置です。
本装置は、グレースケールデータを効率的に作成・変更できるソフトウエアとDMD(Digital Micromirror Device)に転送されたグレースケール信号をピクセル(□1μm)単位で光強度に階調を持たせた2次元画像として逐次投影することのできるハードウエアから構成されています。
DL-1000を用いることで、マルチトーンマスクを使用したり多重露光をすること無く、レジストの三次元加工を容易に実現することができます。グレースケールデータの作成は、これまで階層毎に図面を描き、各レイヤーに輝度を割り当てる作業が必要でしたが、計算式の係数を変化させることで任意の多角形及び円弧をもとに滑らかなグレースケール画像(最大256階調)を生成することが可能になりました。
また、レジストの感度特性や処理条件の相違による露光結果の変動に対しても、グレースケールデータを容易に変更することができるため、求める形状を迅速に具現化することができます。

レーザーマーカー専用架台『APLシリーズ』
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当社では、治具止め穴が設けてあり使い勝手の良い仕様となっている
Panasonic社製のレーザーマーカー専用架台『APLシリーズ』を
取り扱っております。

『APLシリーズ』は、ハンドルを回すだけで必要な高さに調整可能。
また、加工時にヒュームが発生するため、吸排気口も設けております。

【形式】
■APL-1
■APL-2

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

フェムト秒パルスレーザー
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パルス・オン・デマンドにも対応可能

1030nm: 5W-30W

515nm: 5W-30W

343nm: 5W-30W

100Wグリーンレーザー HD40II-E
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エッジウェーブ社製

【特徴】
○大出力100Wグリーン
○高繰り返し/高パルスエネルギー
○短パルス<10ns
○出力ビーム形状(いずれか1つを選択:ガウシアン、2Dトップ・ハットビーム、1Dトップ・ハット・ラインビーム)

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

マイクロレーザーモジュール『LDM-1シリーズ』
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『LDM-1シリーズ』は、1.0cm×1.2cm×1.3cmの外形寸法を持つPCB実装用
パッケージに、フォーカス/コリメーション用プラスチックレンズや
APCドラバを搭載し3-6V(<120mA)の電源を供給するだけでレーザー光が
得られる、非常にコンパクトで使い勝手の良いレーザーモジュールです。

レーザー出力は、フォーカスやコリメーションだけでなくラインや
クロスヘアなどにも対応し、635nmから905nmの間の波長を9種類用意しており
波長に応じて0.4から15mWまでの出力をラインアップしています。

【特長】
■1.0cm×1.2cm×1.3cmの外形寸法を持つPCB実装用パッケージ
■フォーカス/コリメーション用プラスチックレンズやAPCドラバを搭載
■非常にコンパクトで使い勝手が良い
■635nmから905nmの間の波長を9種類ご用意
■波長に応じて0.4から15mWまでの出力をラインアップ

※英語カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

「カスタマイズレンズ加工」量産の際のコストカットを実現!
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当社では、時代のニーズに応えるべく研究・開発され、確立した
マクロズーム、カスタマイズ光学系ユニットを製作いたします。

技術的に生産が難しく、またコストもかかるレンズですが、認識部品の
光学調整をユニットにすることにより、当社ですべての作業を行うことが可能。

お客様の工程の時間短縮、装置内の省スペース化、認識部品の高精度、
低コストを実現しております。

【光学製品作製例】
■テレセントリックレンズ
■CCTVレンズ
■汎用TVレンズ
■ズームレンズ

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。

内圧式(閉鎖式)UV照射器具
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特長
◆設置場所の状況(一般場所、危険場所、クリーンルーム等)に合わせたシステムのご提案を致します。
◆出力密度MAX320W/cm・ランプ発光⾧2,000mm以上にも対応可能です。詳しくはお問合わせください。
◆照射物のサイズに合わせたご提案を致します。
◆熱影響や光源の組合せを考えた仕様にも対応致します。
◆ランプ出力の高低、発光波⾧を問わず最適な装置をご提案致します。

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光半導体・電子デバイスにおけるレーザー加工の高速化

光半導体・電子デバイスにおけるレーザー加工の高速化とは?

光半導体や電子デバイスの製造プロセスにおいて、微細かつ高精度な加工を実現するためにレーザー技術が不可欠となっています。この「レーザー加工の高速化」とは、加工時間を短縮し、生産性を向上させることを目的としています。これにより、デバイスのコスト削減や市場投入までのリードタイム短縮が期待されます。

​課題

加工時間の長期化による生産性低下

従来のレーザー加工では、微細な加工を行うために時間を要し、これが全体の生産性を低下させる要因となっています。

熱影響によるデバイス性能への影響

高速化を目指すあまり、加工時の熱影響が大きくなり、光半導体や電子デバイスの性能を損なうリスクがあります。

加工精度維持の難しさ

加工速度を上げると、狙った箇所への精密な照射が難しくなり、歩留まりの低下を招く可能性があります。

多様な材料への対応の限界

光半導体や電子デバイスには様々な材料が使用されており、高速かつ均一に加工できるレーザー技術の適用範囲が限られています。

​対策

高出力・短パルスレーザーの活用

より短い時間で高エネルギーを照射できるレーザー光源を用いることで、加工時間を大幅に短縮します。

精密なビーム制御技術の導入

レーザー光の集光・走査を高度に制御することで、熱影響を最小限に抑えつつ、高精度な加工を実現します。

加工プロセス最適化ソフトウェア

AIなどを活用し、材料や加工内容に応じた最適なレーザー条件や加工パスを自動で生成・最適化します。

ハイブリッド加工プロセスの開発

レーザー加工と他の加工技術(例:機械加工、プラズマ加工)を組み合わせることで、それぞれの長所を活かし、効率的な加工を目指します。

​対策に役立つ製品例

超短パルスレーザー光源

極めて短いパルス幅で高ピークパワーのレーザーを発生させ、材料への熱影響を抑えつつ高速な加工を可能にします。

高精度ガルバノスキャナー

レーザー光を高速かつ正確に走査することで、微細なパターンを迅速に描画し、加工精度を維持します。

インライン計測・フィードバックシステム

加工中にリアルタイムで寸法や品質を計測し、その結果をレーザー制御にフィードバックすることで、不良品の発生を防ぎます。

多光子吸収レーザー加工装置

特定の波長のレーザーを複数重ねて照射することで、材料内部に選択的に加工を施し、表面へのダメージを抑えつつ高速化を図ります。

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