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光技術・レーザー

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UV・可視光線のアクロマート化とは?課題と対策・製品を解説

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光学設計・開発におけるUV・可視光線のアクロマート化とは?

UV(紫外線)から可視光線領域にかけて、異なる波長の光の色収差(波長によって屈折率が異なるために生じる像のぼやけや色ずれ)を補正し、単一の焦点に集める光学設計技術です。これにより、広帯域で鮮明な結像を実現し、高精度な計測や画像処理を可能にします。

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研磨品 合成石英材

当社では、人や環境にやさしい新しい色素製造方法によって
トリフェニルメタン色素の合成に成功しました。

この酸化合成法は、微量の触媒と市販の過酸化水素水によって進行します。
また、この方法はAcidBlue7およびAcidBlue83の合成が可能です。

ご要望の際は、お気軽にお問い合わせ下さい。

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カラーフィルター用 青色色素合成サービス

当社の『フッ化カルシウム(CaF2)』は、長年に渡って半導体製造における
マイクロリソグラフィーの鍵を握る材料として使用され続けています。

エキシマレーザーの光学系の素子として標準的に用いられており、更に
その特長的な性質は様々な分野のアプリケーションへ応用されています。

ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長(Lithotec(R) CaF2)】
■深紫外130nm~赤外8μmの広波長域に対する高透過率
■低い屈折率(nd=1.43384)
■低いスペクトル分散(vd=95.23)
■157m、193nm、248nmといったエキシマレーザーに対する優れたレーザー耐久性
■高エネルギー分子や放射線への強い耐久性
■直径420mmと大型の結晶

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

フッ化カルシウム(CaF2)

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光学設計・開発におけるUV・可視光線のアクロマート化

光学設計・開発におけるUV・可視光線のアクロマート化とは?

UV(紫外線)から可視光線領域にかけて、異なる波長の光の色収差(波長によって屈折率が異なるために生じる像のぼやけや色ずれ)を補正し、単一の焦点に集める光学設計技術です。これにより、広帯域で鮮明な結像を実現し、高精度な計測や画像処理を可能にします。

課題

広帯域での色収差補正の難しさ

UVから可視光線にかけて、材料の分散特性が大きく変動するため、単一のレンズ系で全ての波長域の色収差を完全に補正することが困難です。

UV領域における材料選択の制約

UV領域で透明性が高く、かつ色収差補正に適した光学材料の種類が限られており、設計の自由度が低下します。

設計・製造コストの増大

複数のレンズ素子を組み合わせる必要があり、設計の複雑化や高精度な加工が求められるため、開発・製造コストが増加します。

収差補正と他の光学性能の両立

色収差を補正する一方で、球面収差や非点収差などの他の収差を同時に低減させ、全体の光学性能を最適化することが難しい場合があります。

​対策

異種材料の組み合わせによる色収差補正

分散特性の異なる複数の光学材料(例:低分散ガラスと高分散ガラス)を組み合わせたレンズ設計により、色収差を効果的に打ち消します。

UV透過性材料の積極的な活用

UV領域での透過率が高い特殊ガラスや石英ガラスなどを積極的に採用し、UV光の損失を抑えつつ色収差補正を行います。

高度な光学設計ソフトウェアの活用

最新の光学設計ソフトウェアを用いて、複雑なレンズ構成や材料特性を考慮した最適化計算を行い、効率的な設計を実現します。

非球面レンズや回折光学素子の導入

非球面レンズによる収差補正能力の向上や、回折光学素子(DOE)を用いて色収差補正と小型化を両立させる設計手法を検討します。

​対策に役立つ製品例

多層膜コーティングされた複合レンズ

異なる屈折率を持つ複数の材料を積層し、さらに広帯域に対応する反射防止膜を施すことで、UVから可視光線までの色収差を効果的に低減します。

UV・可視光対応アクロマートレンズユニット

UV領域と可視光領域の両方で色収差が補正された、複数のレンズ素子を組み合わせた一体型の光学モジュールです。

広帯域分光器用対物レンズ

UVから可視光線まで幅広い波長域で鮮明な像を得る必要のある分光器において、色収差を補正し高精度なスペクトル分析を可能にします。

UV露光装置用レンズシステム

微細なパターンをUV光で露光する装置において、色収差を補正することで高解像度かつ均一な露光を実現し、製造歩留まりを向上させます。

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