メタルマスクのクリーニング自動化とは？課題と対策・製品を解説

当社は、光ファイバシステムの高性能化を目指し、
薄型でコンパクトなペンクリーナー『SwiftClean』を発売しました。

『SwiftClean』は、残使用回数が小窓に表示され、
光コネクタやアダプタ(SC 2.5、LC 1.25)の清掃が約1,000回可能です。

【特長】
■軽量
■優れたコストパフォーマンス
■コンパクトサイズ
■取扱いが簡単

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

理想的な突起の配列によって、洗浄斑を解消し、また汚染物質、およびクリーニング水の配水経路を確保し、ハイレベルな洗浄効果を実現します。

サーマシールシリーズは100%ポリエステルの長繊維を編んだ生地を熱裁断した、高性能で安価なクリーンワイパーです。

ダイレクトパス洗浄機は各種電子基板用のフラックス洗浄装置です。
強制液流により洗い辛い狭い隙間の汚れを効果的に洗浄可能です。
大手半導体、電子部品メーカー様に多数採用頂いております。
数10μｍの狭ギャップのフリップチップパッケージ、カメラモジュール
等の各種電子部品のフラックス洗浄に最適です。

【特長】
○洗浄性、乾燥性
　特殊な液流により狭隙間、袋穴、束ねた板状物等の洗浄、乾燥に優れた威力を発揮します！
○高スループット
　洗浄物多くを充填する事で洗浄・乾燥効率が向上し、一般的な方式の２倍の高スループットを実現します！
○低ランニングコスト
　効率的な液切りにより、洗浄剤消費量を１／３に低減！
○最適な洗浄システム
　各種フラックス洗浄剤、ワークサイズ、搬送機構、等お客様ニーズに併せたカスタム対応が可能！

エムダイヤの『基板剥離機』は、廃棄基板から実装部品を取り除く事のできる製品です。
基板サイズ200mm×300mmで厚み1～2mm程度のものなら2度投入すると処理能力は300kg/時にもなります。

片面剥離仕様は一度の投入で片面の実装部品を、
両面剥離仕様は一度の投入で表面、裏面の実装部品を同時に剥離することが可能です。

【外形】
・片面剥離仕様（KBHS-600）
■横幅：1,000mm
■奥行：2,000mm
■高さ：1,300mm
(小さなスイッチやボルトなどの突起物は含まず)

・両面剥離仕様（KBHW-600）
■横幅：1,200mm
■奥行：2,500mm
■高さ：1,400mm

※詳しくはお問い合わせ、もしくはPDF資料をダウンロードしてご覧ください。

当社では、半導体製造装置のロボットアームやチャックテーブルに
付着した異物を捕集するウエハ状クリーニング材『クリーニングウエハ 』を
取り扱っております。

クリーニング層面を下側にして、ウエハカセットにセットし、
装置内を自動搬送するだけでトラブルの原因となる微小異物を
捕集できるので、装置稼働率が大幅に向上します。

【特長】
■ダミーウエハの片面に異物捕集性と自動搬送性とを兼備えた
　クリーニング層を装備
■真空チャンバの異物によるトラブルの解消では、
　従来法と比べ大幅な時間短縮が期待可能
■従来の人手によるクリーニングに比べ、
　簡便で頻度・確度・対応性にすぐれる　など

※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お問い合わせください。

環境負荷の低減を目指し設計されたＶＯＣ量の低い水性ステンシルクリーナーを洗浄力を強化し、環境保護の観点から改良開発された代替品。地球温暖化に配慮し、高圧ガスを使用しないトリガー式スプレー(0.95L)非可燃性。

『FDK＆FDR型』は、精密成形部品や化粧品、薬品容器などの、静電気除去とゴミなど異物除去に！

ダイレクトパス洗浄機は各種電子基板用のフラックス洗浄装置です。
強制液流により洗い辛い狭い隙間の汚れを効果的に洗浄可能です。
研究開発、実験、少量生産に最適な小型機です！

【特長】
○洗浄性、乾燥性
　特殊な液流により狭隙間、袋穴、束ねた板状物等の洗浄、乾燥に優れた威力を発揮します！
　純粋再生ユニットPINE RECを用いることで廃水も低減。
○コンパクト
　３層式とし装置幅を抑えコンパクトに設計
　標準仕様にて安価に製作
○最適な洗浄システム
　各種フラックス洗浄剤、ワークサイズ、搬送機構、等お客様ニーズに併せたカスタム対応が可能！

アチーブの『セルペンスワブ交換用ヘッド』、超微細発泡タイプで、
拭き取り性に優れています。

綿棒と比べ発塵が少なく、またIPA等の溶媒も浸透しやすいことが特徴です。

ヘッドのみの交換も可能です。

【特長】
■超微細発泡タイプで、優れた拭き取り性
■一般的な綿棒と比べて発塵が少ない
■ヘッドのみの交換も可能
■IPA等の溶媒が浸透しやすい

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

マイクロファイバー長繊維を使用しており、クラス100で洗浄・クリーニングされている為、極めて低発塵です。
非常にやわらかい為、対象物を傷つける事なく拭き取れます。
ミクロの汚れ、油膜等もクリーンに拭き取れます。

有機ELパネル製造ラインで使用される蒸着用メタルマスクを、新品同様の品質へ再生する量産対応洗浄装置(特許取得済)です。
洗浄後溶剤は蒸留・分離機構で自動再生、常時新液状態を維持。
廃液量は極少で、低ランニングコストと低環境負荷を両立。
HFE溶剤も蒸留機＆HC/HFE分離装置により再生・再利用可能。
日本・台湾・中国の有機ELメーカーで多数採用され、スマート　
フォン向けパネルの歩留まり向上と製造コスト削減に貢献。

【特徴】
　〇洗浄方式は独自の“コ・ソルベント方式”を採用。
　〇使用したHC溶剤は内蔵の真空蒸留装置により有機物を分離・
　　排出後、洗浄工程へ循環再利用されます。
　〇洗浄を終えたメタルマスクはリンス・乾燥工程へ搬送、
　　リンス後は低真空の真空乾燥工程で仕上げます。
　〇使用するHC・HFE溶剤はいずれも蒸留装置・回収装置を
　　経由して再利用され、ランニングコストを大幅に低減。

　蒸留機の搭載により、洗浄液は常に新液状態を維持し、
　汚染成分は凝縮・分離されて少量の廃液として排出されます。
　※従来の全量液交換は不要

HEPAフィルタを採用している為、効果的に部品の表面温度を下げることが可能がです。さらに、日本製の低圧水銀ランプの有効波長254nmも採用しています。
詳しくはお気軽にお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。

クロスは、ポリエステル100％の長繊維を使用し、4面ヒートカットでエッジからの発塵がありません。
クリーンパックされている為、きわめて低発塵です。
拭き取り性・耐薬品性に優れています。

半自動メタルマスク製版装置『CombiMaster』は、
製版作業時に接着剤を手作業で塗る工程を半自動化でき、
生産性の向上、省力化・省人化に貢献する製品です。

専用接着シールにより、洗浄耐久性の向上につながるほか、
揮発性物質を使用しておらず、作業環境の改善に貢献。

メタルマスクの生産にかかるコストを削減することができます。

【仕様】
設備サイズ：2500×900×1900mm
重量：1000kg
消費電力：4kW
電源タイプ：380V
生産能力：3版/分
接着温度：165～195℃
対応枠サイズ：550×650mm（オプションでその他のサイズにも対応）

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

ベクトラ・アルファ10は特殊洗浄と裁断辺に5mm幅熱溶接シール加工を施した、ポリエステルニットの高性能クリーンワイパーです。

『HSE-PC100』は、クリーム半田塗布前やプリント基板（PCB）上の
微細なゴミを除去できる間欠イオンエア洗浄システム基板クリーナーです。

導電性ブラシを使用の両面ブラッシングと間欠イオンエア洗浄ユニットで
除電しながらの両面乾式パルスエアブローが可能。
効率の良いゴミ集塵を実現します。

【特長】
■導電性ブラシ使用の両面ブラッシング
■間欠イオンエア洗浄ユニット搭載
■除電しながらの両面乾式パルスエアブロー
■効率よくゴミ集塵が可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

◆２辺シールによる裁断部からの発塵防止
◆熱シール部の後処理によるバリの最小化
◆クラス１０のクリンルームでの純水洗浄・包装

クリーンルームでの導入実績あり！
耐薬品性もあり、やわらかい風合いで巻くだけ設置完了。
静電気を除去し、ホコリ等の付着を防止します。
防塵・帯電防止カバーに。
導電糸入りで帯電を防ぎます。


《特徴》
・静電気防止
・静電気除去
・ほこりがつきにくい
・やわらかい風合い
・耐薬品性
・クリーンルーム等に導入実績のある生地
・はっ水機能付き

アチーブの『アズピュワセルペンスワブ』は、超微細発泡タイプで、
拭き取り性に優れています。

一般的な綿棒と比べ発塵が少なく、
またIPA等の溶媒も含浸しやすいことが特徴です。

ヘッドのみの交換も可能です。

【特長】
■超微細発泡タイプで、優れた拭き取り性
■一般的な綿棒と比べて発塵が少ない
■ヘッドのみの交換も可能
■IPA等の溶媒が浸透しやすい

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『ベルイーターDシリーズ』は、PVAスポンジを用いた多孔質体素材の
基幹製品です。

吸水性・保水性・高気孔率・ソフトな風合い・柔軟剤という特長をいかんなく
発揮し、さまざまな用途に対応、産業界の発展に幅広く貢献しています。
半導体等の超精密洗浄、精密電子部品の吸水、拭き取りなどになくては
ならない部材です。

素材自体のクリーン度を高めた、高清浄度グレードもご用意しています。

【特長】
■きわめて高い吸水力・保水力
■ソフトで弾性に優れ、ワークを傷つけない
■80～1000μmと気孔径のバリエーションが広い
■2次加工性に優れている

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

『リードフレーム用マスク』は、金属、ゴム、スポンジ、プラスチック製品等の
様々な工業資材を取り扱っているアスク工業の製品です。

近年、リードフレームの生産方式は大型化、複数列化、リング状メッキ化等様々に
変化し、それに伴いメッキ用マスクに求められる品質精度も高まってきています。

ご注文は1枚からでもお受けいたします。また、日本国内はもとより、
海外工場へも当社から直送することが出来ます。お見積もり、試作品作成
などお気軽にお申し付けください。

品番等の刻印や、両面テープ付きのマスク制作も可能です。

【仕様】
■精度：エリア寸法、ピッチ実測値 ±0.05mm
■マスク材料：常時在庫品
　　　　　　　EG＋ゴム（ゴム硬度HS30、50）
　　　　　　　厚さ 1.5t、2.0t、3.0t（HS30 のみ）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『ミクロハイネス』は、現在では静電気防止・防塵グローブの代名詞とも
なっており、様々な分野のプロのニーズにお応えしてパワーアップしてまいりました。

用途に合わせた使い分けができるよう“シリーズ”としての登場。

超極細繊維と特殊導電糸をつなぎ目無く編み上げる事により、静電気を防止し、
チリ・ホコリの付着を未然に防ぐ当製品の機能をもっと多くの方々のためにと
考えています。

【特長】
■風合
■吸水性
■速乾性
■耐久性
■耐電性
■洗濯

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

イオンクリーンボックス『SE-02/SE-04/SE-06』は、
電子デバイスや樹脂成型品等の静電気と塵埃を強力に除去し、
塵埃の再付着を防止する優れモノです。

このクラス最大級の集塵能力を発揮し、
メンテナンスの簡素化と低価格を実現した製品シリーズです。

ホコリで、お困りの方は是非お試し下さい。

【特長】
■簡単メンテナンス　　
■低価格を実現
■カスタマイズが可能
■ホコリ対策　

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

◆クラス１０のクリンルームでの純水洗浄・包装
◆自動化された製造ラインにより低コストを実現
◆ポリエチレン袋による二重包装

『オーブンシールド』は、手間のかかるフラックス残渣の清掃・メンテナンスを楽にする皮膜コーティング剤。
　施工は簡単で、フラックスの付着するリフローオーブンの冷却部へ事前に筆またはローラーにて塗布するだけ。フラックスが堆積したら薬剤や溶剤、ウェスなどを使わず、コーティング膜を剥がすだけでフラックスを完璧に除去。
コーティングはオーブン加温中に十分硬化するため、乾燥待ち時間ゼロ、ダウンタイム短縮。
保守作業量　約50%軽減
設備の清掃ダウンタイム25%削減
※この『オーブンシールド』をインターネプコン2014にて展示！（小間番号：東ホール東21-7）

【特長】
■保守などのアフターサービスの手間を大きく削減
■アメリカ、東南アジアの企業でも多数の採用実績あり
■作業量も少なく済み、洗浄剤などの消耗品のコストを抑制
■簡単こまめなメンテナンスで、炉内天面に付着したフラックスの溶解・液だれによる基板汚れの防止
■不燃性・VOC不使用・環境負荷ゼロ・危険物含有なし・微臭

Hi-CLEAN「静電気防止クリーングローブ2701」は優れたグリップ力と防塵性を有するグローブです。

◎詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

液晶サイズの拡大に伴い、製造工程では一層高いクリーン環境が求められ、その実現のために設備単位での微差圧制御が導入されています。

【特徴】
○オールインワン　タイプでコンパクト化
○制御性を向上し高精度化
○操作性を向上
○利便性を向上
○通信機能を向上
○現地工事が容易

※詳しくはＰＤＦ資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

通常のモップを使用するのと同様の簡便な作業で、大面積を一気に払拭可能。
きわめて清浄度の高い清掃を行うことができるので、クリーンルームの床面や壁面などのメンテナンスに最適。

自社開発の非接触マグネットドライブを採用し、駆動部からの発塵を抑止しました。粘着ロールの多軸化で次工程へのゴミの流出を防ぐ効果がｕｐします。

鉛フリーはんだへの切り替えではんだ付けの温度が高くなり、ガンコに焼きついたフラックスを高い浸透力と強力な洗浄力で即溶解。R, RA, RMA, SAタイプのフラックスに有効。
あぶら汚れも基板を痛めず強力洗浄。G3フラックスリムーバの効果の違いを比較動画ユーチューブにてご覧になれます。SCSホームページから簡単にご覧になれます。

綿球先端部は硬めに作成していますので綿球部がへたりにくくなっています。

『エアロクリーン』は、静電気を分解し、汚れを取るプラスチック洗浄剤です。

LCD、ガラスの洗浄、接着剤除去、UV硬化樹脂接着剤の除去に使用可能。
低粘度、即除電、高溶解、高浸透で表面の汚れをナノレベルで除去します。

また、塗装・メッキ前の、下処理剤としてもご使用いただけます。

【特長】
■静電気を分解、汚れを取る
■表面の分子レベルの異物を除去
■金属に対しての腐食がない
■浸透性が良い
■イオン性の汚れも除去できる
■プラスチック表面下のガスを抜く

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

メタルマスク洗浄機SC-BM500シリーズは、高密実装用のメタルマスクや、ウエハーバンプのような多孔パターンマスク洗浄できます。
デジタルタイマー付きで、ボタン一つで洗浄から乾燥まで行えます。
版サイズも、320mm角から1000×740mmまで対応し、ワンタッチでセットできます。
スキージ洗浄機も接続できる拡張機能付きです。
圧縮エアーによる乾燥機構が標準装備されております。

半田印刷機用クリーニングペーパー毛羽立ちが少なく、鉛フリータイプなどの粘りのある、クリーム半田の拭取り性も抜群のクリーニングペーパーです。吸液性、保液性、耐用剤性で優れた拭き取り能力を備えています。1本からの小ロットにも対応しております。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

VIGON SC 200はメタルマスク洗浄用として開発された常温タイプの水系洗浄剤です。
スプレー式や超音波式洗浄機に適しており、試し刷り基板の洗浄もできます。
フラックスのタイプによっては、片面が既にはんだ付けされている印刷ミス基板にも使用できます。

【特長】
■フラックスを洗浄液中から分離除去できるため、洗浄液の長寿命化及びコスト低減
■洗浄液の交換が不要のため、メンテナンスの省力化
■低臭気、低VOC、環境対応成分の使用により作業性の改善と地球環境保全を実現
■引火点なしのため安全なライン管理
■常温（25℃）での使用で良好な洗浄性能を発揮
■Pbフリー、ハロゲンフリー、共晶はんだに対し優れた洗浄性

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

VIGON UC 160は、メタルマスクのクリーム半田を除去するため専用設計された印刷機内用水系洗浄剤です。
不織布に対する優れた濡れ性を持っており、洗浄性が向上し、クリーム半田の裏周りを大幅に軽減させます。
その結果、基板上の半田ブリッジを抑制することができ、信頼性の高い印刷結果をもたらします。
また、健康及び安全性にも優れているため、IPAの代替に理想的な製品です。

【特長】
■プリンタ内メタルマスク裏拭洗浄
■環境に優しく安全性の高い水系洗浄
■ペーストの印刷性に悪影響なし
■ペーパーの使用量低減による工程コストメリット
■高い洗浄性による不良率の低減

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

GRISH精密研磨布はロールコーティング技術及び高度な樹脂接着技術で、摩擦に強い布に塗布した高品質なものです。

特徴：
１、高いクリーニング効果
塗布研磨層がパネル表面のガラスカレット、強固な異物などの除去を行う。
２、良好な研磨効果
精密研磨によって、チップポケットに異物が回収され、研磨面に傷を付け難い。

当社の「精密洗浄部門」では、主にクリーンルーム内で使用される
ウエハケース、ボトル、トレー、シリンジ、その他各種容器の純水洗浄を
行っています。

高純度を要求されるアイテムには、最終0.04μmのフィルターにてろ過した
超純水を使用します。

その他お客様のご要望に応じ、各種用品の特殊洗浄に幅広く対応しています。

【特長】
■精密洗浄に使用する用水は、超純水を使用
■乾燥エリアのクリーン度はクラス10（実測値）の環境下
■床面はグレーチング状で、ダストの浮遊を極力制限
■超音波洗浄機（自動ライン）を保有し、キャリアの洗浄にも対応
■クリーンオーブンによる強制乾燥も可能

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

株式会社エイワ機工では、『中古設備の販売』を行っております。

実装関連では「N2リフロー装置」をはじめ、「スプレーフラクサー」や
「搬送機」「メタルマスク洗浄機」などをラインアップ。

その他にも、クリーンルーム関連の「エアシャワー」「加湿機」など数多くの製品を
取り揃えております。お気軽にお問い合わせください。

【取扱製品（抜粋）】
■はんだ付け関連
・N2リフロー装置（タムラ製）
・はんだ付け装置（タムラ製）
・スプレーフラクサー（タムラ製）
・加湿機　クリーンウェッター（エイワ機工）
・メタルマスク洗浄機（サワーコーポレーション）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、ホームページよりお気軽にお問い合わせ下さい。

治具板用SUSプレートに付着した硬化エポキシ樹脂、インキ、接着剤、テープ等を水だけでクリーンニングします。
少量の水を使用し、50Mpa〜250Mpaの超高圧で両面洗浄します。

『ZESTRON SD 100』は、防爆仕様スプレー式洗浄機にてメタルマスクから
クリーム半田除去用に専用設計された溶剤系洗浄剤です。

フラックスの種類によって、印刷ミス基板にも使用することが可能。
さらに、印刷機での裏拭きや手拭き洗浄にも使用できます。

また、当製品はメタルマスクプリンターでの使用が世界の
主要メーカーによって承認されています。

【特長】
■コンタミ保持量が高いので、長寿命かつメンテナンス時間の削減に繋がる
■乾燥性に優れているので、洗浄時間の短縮に貢献
■低臭気で、室温下で使用できる
■メタルマスクの手拭き洗浄や印刷機での裏拭きにも適している

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『スーパーワイパー』は、素材にポリエステルを使用したワイパーです。

カット面からの発塵を極力抑えるために、裁断には特殊レーザー技術を
使用しています。

また、比抵抗値18MΩの超純水のみの洗浄後、クラス100のクリーンルーム
にて乾燥・2重パックをしています。

【特長】
■長繊維ポリエステル糸を100%使用
■裁断には特殊レーザー技術を使用
■クラス100のクリーンルームにて乾燥・2重パック
■多様なサイズ・数量をご用意
■様々な製造現場にて使用可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『LMJ-SAM３-T』は、マスク洗浄結果の自動判定が可能な
メタルマスク判定機です。

機種切替直後の不良率を低減。また、クリーニング後の目詰まり、異物
付着を自動で判定します。

その他にも、ガーバーデータとの比較によるマスク加工精度の自動判定や
メタルマスクの交換時期の管理などにより、品質向上、ロスコスト低減、
環境改善の実現に効果を発揮します。

【特長】
■マスク洗浄後の確認
■テンション自動計測
■トレーサビリティ
■ガーバーデータとの比較

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

超純水発生装置＆超音波洗浄装置などを用いた洗浄・検査・真空梱包まで対応可能。被洗浄物は最大　350×1000×1000まで可能。

シンプルで使いやすい、廉価版モデルです。簡単操作のタッチパネルで使いやすく、とってもコンパクトです。SC-ML736Jは、簡単操作のタッチパネル搭載の人気メタルマスク洗浄機です。シンプルで使いやすい設計でかつ、小型・軽量化を極限まで追及しました。

電子業界ではスクリーン印刷にてペースト材料を塗布する工程が多く見られます。スクリーン印刷とは孔版印刷の一種で、版自体に穴をあけ、そこからインクペースト等をすりつける印刷方式です。

　はんだを含むソルダーペースト、銀やパラジウムに代表される厚膜ペースト、導電性接着剤、レジストインク、仮固定ボンドなど多くの材料がメタルマスク版、スクリーン版(メッシュ版)を用いて印刷されています。
　この印刷版の管理において開口部の洗浄はその精度保持、印刷不良低減のために不可欠となっています。電気・電子業界での採用実績が長く、数多くのペースト、接着剤、ボンドを認知しており、また、洗浄剤専門メーカーとして多方面の切り口から洗浄剤を開発しています。
::.1.::　各種ペースト、接着剤、ボンドへの対応
::.2.::　各種法令非該当また低臭気商品の対応
::.3.::　部材耐性考慮した洗浄剤設計

VIGON SC 202は、メタルマスク洗浄においてクリーム半田やSMTボンドを確実に除去する水系洗浄剤です。
また、印刷ミス基板の洗浄にも優れています。
スプレー洗浄機及び超音波洗浄機での使用を推奨します。

【特長】
■樹脂・接着剤・インキ・はんだペースト・フラックス汚れを効果的に除去
■水系洗浄剤のため引火点がなく防爆仕様不要
■１液で洗浄・リンス可能
■界面活性剤非含有
■ハロゲン化合物含有なし

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『HYDRON SC 300』は、メタルマスク洗浄用として開発された水系洗浄剤です。

クリーム半田やSMT ボンドを常温にて確実に除去し、
メタルマスク表面上に残渣を残しません。

また、洗浄およびリンス工程にて使用可能で、洗浄剤残渣なく乾燥し、
印刷機の裏拭きにも使用できます。

【特長】
■クリーム半田や接着剤洗浄に優れた効果を発揮し、残渣を残さない
■洗浄およびリンス工程にてご使用可能
■メタルマスクに残渣を残さず乾燥する
■スプレー式洗浄機をご使用いただいても泡立ちしない
■VOC 含有量が20％以下となり、環境対策を施している
■メタルマスクとの材料適合性に優れている

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

株式会社エイブルジャパン　取扱製品 総合カタログでは、中央に搬送ロボットを設置し、各ユニットを放射線状に配置するタイプの「マスク洗浄装置（自動タイプ）」や、投入された基板に自動で塗布～乾燥まで行う装置「オートスピンコーター」、ウェハーの洗浄を行う装置「スピンクリーナー」、カセット内の基板受渡しを行う装置「LD／ULD」、塗布後の基板を乾燥する装置「UV照射装置」等、多数掲載しています。

【掲載製品】
○マスク洗浄装置
○スピンナー
○マニュアルスピンコーター
○スピンエッチャー
○フォトマスク用プロセス装置　他

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。