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加工歪みの測定とは？課題と対策・製品を解説
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製造における加工歪みの測定とは？
製造プロセスにおいて、材料や製品に発生する意図しない変形や応力（加工歪み）を正確に把握・定量化すること。これにより、製品の品質低下、性能劣化、寿命短縮などを未然に防ぎ、製造工程の最適化や信頼性向上を目指す。
各社の製品
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【機械製造向け】平面度の計算原理
【精密金型向け】リアルナノ３次元測定機
【計測向け】XYZ軸精密位置決めステージ P-561~563
高精度計測において、プローブの位置決め精度は測定結果の信頼性を左右します。わずかな振動やクロストークが誤差要因となるため、高剛性かつクローズドループ制御による安定したナノポジショニングが求められます。
P-561・P-562・P-563 PIMars Nanopositioning Stages は、パラレルキネマティクス構造と静電容量式センサを採用したXYZ多軸ピエゾフレクシャステージです。再現性±2 nm、リニアリティ0.03％を実現し、低クロストークで高精度なプローブ位置決めを可能にします。
高共振周波数と優れた動的特性により、高速スキャン計測や微小変位測定にも対応。半導体検査やナノ材料解析など、精密計測用途に最適です。
【活用シーン】
・半導体検査
・超解像顕微鏡
・フォトニクス調整
【導入の効果】
・高精度な測定結果の実現
・測定時間の短縮
・製品品質の向上
【精密加工向け】開口66mm ピエゾスキャナ P-517/527
精密加工分野では、さらなる微細化と高品質化が進み、ナノレベルでの位置決め精度が製品性能を左右する重要な要素となっています。特にレーザ加工やマイクロパターニングでは、振動や摩擦によるわずかな誤差が加工品質に直結します。
P-517／P-527 マルチ軸ピエゾスキャナは、摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造を採用し、バックラッシュや摩耗を排除。PICMAピエゾセラミックと高分解能静電容量センサーにより、ナノレベルの再現性と高ダイナミクスを実現します。安定した高速応答により、微細加工における高精度な位置制御を可能にし、加工品質と歩留まり向上に貢献します。
【活用シーン】
・レーザ微細加工装置
・マイクロパターニング
・ウェーハ加工・検査装置
・ナノポジショニング用途
・精密計測・加工システム
【導入の効果】
・ナノレベルの高精度加工制御
・安定動作による加工品質向上
・加工時間短縮と生産性向上
・歩留まり改善によるコスト削減
【計測器向け】スペーサーのフォトエッチング加工
【精密測定向け】Zチップチルト開口部付ピエゾステージ P-5x8
精密測定分野では、わずかな位置ずれや角度誤差が測定結果に大きく影響します。特に微細構造の評価や透過光を用いた計測では、ナノレベルの分解能と高い安定性、さらに十分な開口径が求められます。
P-518／P-528シリーズは、Z軸ストローク100µm／200µmとチップチルト制御を組み合わせた高精度ピエゾステージです。66mmの大開口設計により透過光計測にも対応し、高いリニアリティと再現性を実現。精密測定やアライメント工程における信頼性向上に貢献します。
【活用シーン】
・半導体検査・評価装置
・フォトニクス／光学計測
・顕微鏡・干渉計システム
・高精度アライメント用途
【導入の効果】
・ナノレベルでの高精度Z・角度調整
・66mm開口による透過光計測対応
・高い直線性と安定性による測定信頼性向上
【計測向け】開口50mm ピエゾスキャナ P-517/527
計測分野における校正や微細位置調整では、高い再現性と安定した位置決め性能が不可欠です。特にナノスケールでの測定やアライメントでは、わずかなバックラッシュや摩擦が測定結果の信頼性に影響を与えます。
P-517／P-527 マルチ軸ピエゾスキャナは、摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造を採用し、ヒステリシスや機械的遊びを最小化。ナノレベルの分解能と高再現性により、校正作業や精密計測の精度向上に貢献します。安定した動作特性は、長期的な測定信頼性の確保にも寄与します。
【活用シーン】
・光学検査装置
・ウェーハ検査・計測装置
・ナノポジショニング用途
・精密計測システム
・顕微鏡・走査系装置
【導入の効果】
・高再現性による校正精度の向上
・摩擦ゼロ構造による安定した測定環境
・測定データの信頼性向上と品質管理強化
精密測定機器カタログ
当カタログでは、当社で取り扱う「精密測定機器」をご紹介しております。
平面度・真直度・平行度の比較測定模範として使用される「精密基準器」や
機械テーブル上の水平出し、機械テーブル面とコラムの直角度測定、
機械ガイド面および精密定盤などの真直度測定に使用される
「精密水準器」などを掲載。
その他、ドリルブロックやVブロック、溝付桝形ブロックなども
ご紹介しており、製品選定の際に参考にしやすい一冊となっております。
ぜひ、ご覧ください。
【掲載製品(一部)】
＜検査用 精密定盤＞
■No.100/100S/101 鋳鉄製(ミーハナイト鋳鉄)
■No.200/200S/210/211 鋳鉄製(ミーハナイト鋳鉄)
■セラミック溶射製(使用面セラミック)
■データムゲージ
■No.1100/1100S/1101 石製
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
【保有設備】XM-1200/1500
機上測定機『NK-2000』
『NK-2000』は、熊本精研工業が開発した、カメラによる加工機内計測システムです。
当製品の活用により加工品を加工機から外さずに計測し、チャック状態のままで加工寸法が把握できます。また、そのまま追加工ができるため、仕上がり精度の向上と加工時間の短縮が実現可能！
また、撮像部には同軸照明とリング照明が内蔵され、照度調整はコントローラであるタブレットパ ソコン上で行うことができ、加工品のエッジを鮮明に映し出すことができます。
【特長】
■チャック状態のまま計測
■様々な加工機に対応
■加工機の機械座標を自動取得
■DXFデータを重ね合わせ差分値を計測
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超高精度 「Leitz（ライツ）製三次元測定機」
精密測定
計測工具
測定器『Handy Angle Tester HAT-700』
芯出し器
精密測定ヘッド『PMK』
保有設備のご紹介＜精密測定設備＞
当社が保有している『精密測定設備』をご紹介いたします。
「mju NEX-C6」は東京精密の三次元座標測定機のほか、キーエンスの
ハンディープローブ三次元測定機「XM-T1200」、3Dスキャナ型
三次元測定機「VL-500」と「VL-700」を導入。
IETでは、お客様のご要望にあわせて、図面製作のみの受注から、金型製作、
ダイカスト品の生産・販売までワンストップで受注することもできます。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください
【保有設備】
■東京精密 三次元座標測定機(mju NEX-C6) 1台
■キーエンス ハンディープローブ三次元測定機(XM-T1200) 1台
■キーエンス 3Dスキャナ型三次元測定機(VL-500) 1台
■キーエンス 3Dスキャナ型三次元測定機(VL-700) 1台
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
三次元測定機のご紹介【測定方法を変えたり測定場所の追加も可能！】
当社が保有している「精密測定設備」は、撮影したデータを
残しておけば測定方法を変えたり、測定場所を追加する事も可能です。
東京精密の三次元座標測定機「mju NEX-C6」や、3Dスキャナ型
三次元測定機「VL-500」と「VL-700」などを導入しております。
お客様のご要望にあわせて、図面製作のみの受注から、金型製作、
ダイカスト品の生産・販売までワンストップで受注可能です。
ご用命の際はお気軽に お問い合わせください
【保有設備】
■東京精密 三次元座標測定機：mju NEX-C6×1
■キーエンス ハンディープローブ三次元測定機：XM-T1200×1
■キーエンス 3Dスキャナ型三次元測定機：VL-500×1
■キーエンス 3Dスキャナ型三次元測定機：VL-700×1
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
３次元寸法・幾何公差測定・形状解析
当社は、「形状比較評価」や、「3次元寸法・幾何公差測定」を
行っております。
「形状比較評価」では、3DスキャンしたデータとCADモデルを比較する
事で、形状や加工精度を確認することが可能。
「3次元寸法・幾何公差測定」では、ノギスやマイクロメーターなどの
アナログ計測器では出来ない寸 法測定、断面解析、形状や姿勢などの
幾何公差を測定する事が可能です。
また、お客様がお持ちの3Dスキャンデータを当社がお預かりし、形状解析や
寸法測定などの解析、評価を代行する「受託解析サービス」も行っております。
【サービス内容】
■形状比較評価
■3次元寸法・幾何公差測定
■受託解析サービス
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
広視野温度可変反り検査装置『HVI-S10000C』
『HVI-S10000C』は、計測範囲160×136mmでバンプ除去不要の
広視野温度可変反り検査装置です。
共焦点法を用いており、サンプルへの塗装や部品を除去する必要がなく、
バンプ高さ、コブラナリティに加え、基板の変形も同時に高精度な検査を実現。
Zステージに設けられたナノ分解能のリアルスケールにより、
シャッタのタイミングが制御されるため、高速でありながら正確な
Z位置でのデータ取得が可能です。
【特長】
■広 視野&高速
■バンプ除去不要
■塗装処理不要
■計測範囲160×136mm
■対流加熱式でリフロープロセスを再現
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
三次元座標測定機 測定受託
非接触測定による自由曲面評価と超短納期対応
BENDINGSTUDIO WITH ABSOLUTE ARM
『BENDINGSTUDIO WITH ABSOLUTE ARMシステム』は、ROMER Absolute Arm
シリーズの確立されたレーザースキャニング技術と、AICON BendingStudioの
主要なチューブおよびワイヤー解析機能を組み合わせることで、AICON TubeInspect
シリーズの完璧に補完できるポータブルな製品です。
TubeInspectと同じ革新的なソフトウェアプラットフォームを使用しており、
様々なチューブやワイヤーの高精度スキャンデータを手動で収集することが可能。
高品質のチューブお よびワイヤー測定に好適なソリューションです。
【特長】
■チューブ表面全体をスキャンすることなく正確なチューブとワイヤの
ジオメトリデータを収集できる
■300ミリメートルまでの任意の長さおよび直径の可撓性の可鍛性チューブ用
光学チューブゲージとして機能する
■幅広い種類の材料、色、表面のチューブを正確にスキャンできる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ボール計測用基準球（マグネットベース付き）
測定サービス『あなたの測定室』
当社は、充実した測定機器と専門の測定員により、様々な製品の測定が可能です。
お問い合わせ（諸条件の確認、見積り、納期調整）頂き、金額、納期など折り
合いましたら測定物発送またはお引き取り。三次元測定機をはじめ、3D
スキャン型3次元測定器、マイクロスコープや測定顕微鏡を使い測定、
データを提出致します。
お預かり方法は、お引き取り、お持ち込み、郵送の中からお 選び頂けます。
ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。
【測定機一覧】
■三次元測定機：Mitutoyo Bright A-707
■3Dスキャン型3次元測定器：Keyence VL-350
■マイクロスコープ：Keyence VHX-5000
■測定顕微鏡：Nikon MM-40
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ツアイス・マウザー三次元測定機 MMZ122010
内径測定子（間接タイプ）
非接触3次元測定サービス
3次元測定（デジタイジング）
当社では、3次元デジタイザ「ATOS Triple Scan」を使用し測定いたします。
Triple Scanは従来高精度計測を実現してきたGOM社のステレオカメラ技術に、
青色LEDとLCDプロジェクターを組み合わせることにより、左右の各カメラ
撮影画像を同時に独立して取り込むことができるシステムです。
これにより、1回の測定を3つのセンサで取得したデータを処理して統合
しているため、測定の範囲や精度が向上するとともに、測定時間を短縮します。
【特長】
■3次元デジタイザATOS Triple Scanを使用
■1回の測定を3つのセンサで取得したデータを処理して統合
■測定の範囲や精度が向上
■測定時間を短縮
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
直角定規
三次元測定機のご紹介【誰でも簡単に使える！】
当社が保有している「精密測定設備」をご紹介いたします。
東京精密の三次元座標測定機「mju NEX-C6」や、キーエンスの
ハンディープローブ三次元測定機「XM-T1200」、3Dスキャナ型
三次元測定機「VL-500」と「VL-700」を導入。
撮影後の画像を見ながら測定する為、誰でも簡単に使用可能です。
【保有設備】
■東京精密 三次元座標測定機：mju NEX-C6×1
■キーエンス ハンディープローブ三次元測定機：XM-T1200×1
■キーエンス 3Dスキャナ型三次元測定機：VL-500×1
■キーエンス 3Dスキャナ型三次元測定機：VL-700×1
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
3次元測定及びリバースエンジニアリング
精密測定サービス
当社では、三次元測定器や、CNC画像測定器、マイクロメーター・
ブロックゲージ等様々な精密測定機器を用いて、正確・精密な測定を
専門に行っております。
測定・検査に特化した専門の職員がそれぞれ計測に当たっており、
複雑な形状の製品や測定するのが難しい・時間がかかる製品など も
難なく対応。
また、精密部品測定に必要な設備を各種備えているため、
「人手が足りない」、「納期が間に合わない」、「測定設備がない」といった
お客様のお悩みを解決いたします。
【設備】
■三次元測定器：4台
■CNC画像測定器：2台
■各種治工具類：各種ゲージ等 など
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。
卓上3次元測定器『Fulcrum』
『Fulcrum』は、コンパクトな卓上3次元測定器です。
[特徴]
■現場でそのまま測定
難しい設定は不要で、ワークをセットしてすぐに測定可能。
様々な形式の検査レポートを出力することができ、加工→測定検査→検査レポート出力までの流れを
現場で完結させます。
■安定した精度
アーム部分へ カーボン素材を採用しており、温度、湿度の変化にも対応。
測定時に設置個所の温度環境を登録することで、ワーク材質の熱膨張係数を反映させた測定結果を取得できます。
■多彩な測定メニュー
様々な測定メニューを搭載しています。
複数の要素を測定する事で、要素間の距離や角度を確認できたり、
更に測定した平面同士の仮想の交点なども測定可能です。
※下記ダウンロードボタンよりPDFデータをご覧ください。
絶対値測定
【加工事例】アーム(回路検査装置)
光学式シャフト測定機 MarShaft SCOPE plus2D
■全自動測定
測定はほぼ全自動で行われ、オペレータの操作による人為的ミスを最小限に抑えます。
■3つの精密測定用軸
カメラ測定のポジショニングに以下の3つの精密測定用軸を装備
●C軸（回転）●Z軸（垂直）●X軸（水平）
■シンプルな操作
MarShaft SCOPE plus 本体の操作に使用する。MarWin EasyShaft ソフトウェアはシンプルで、短時間でシステムの操作に馴染めます。
■高速かつ精密な測定
高精度マトリックスカメラを搭載 非接触で、高速かつ精密に部品を測定します。
■カメラと接触式測定プローブで同時測定
カメラのみでは困難な箇所の測定には、オプション機能として接触式測定プローブを提供。
プローブはオプティカルの測定システムをベースに校正されており、カメラとプローブによる測定を同時に行うことが可能です。
■ズーム機能
鋭利な角度を持つ微小な輪郭形状など、従来の測定方法では測定が困難あるいは不可能な部品も、ズーム機能により詳細部分まで正確に測定。
三次元測定に関する困りごと解決！ 三次元測定機
【全国出張対応可】受託3次元測定・3Dスキャン
当社は、3次元測定機、3Dスキャナ、画像合成技術、CTスキャンなどを
使用し、現物をスキャンして3次元デジタルデータ化をする『3次元測定・
3Dスキャン』を行っております。
重量物、機密性や希少性の高い物で持ち出しが難しい場合も、測定技術者が
3次元測定機をお客様の現場へ持込み、現場にて寸法測定や比較評価を実施。
独自のネットワークを活用し、ワークサイズや材質、データの使用用途や
ご予算に合わせた適切な方法でご提案いたします。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。
【特長】
■現物を3次元デジタルデータ化
■全国出張測定に対応
■様々なワークに対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【据付調整手順書 2019】MINISCALE PLUS
当資料は『MINISCALE PLUS』の据付調整手順書です。
当製品は、高精度の部品です。据付ベースの平面度要求は高く、表面の
ばらつきはガイドレールに伝達されません。高いレベルの幾何学的精度を
備えた剛性構造に据え付けた場合に高いパフォーマンスを発揮します。
尚、据付支持面のばらつきは全体の精度、動作性能、与圧および寿命に
悪影響を及ぼします。軽金属製のベース構造を用いる場合には設計に注意が
必要で す。
【掲載内容(一部)】
■安全のために
■システム構成および基本構造
■ガイドウェイの据付調整手順
■測定システムの据付調整手順
■試運転 など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
『CNC三次元測定機による検査体制』
SmartScan
当社で保有する『SmartScan』について、ご紹介いたします。
AICON 3D System(独)社製の検査/リバースエンジニアリングなどを
目的とした光学式非接触ハイエンド3Dスキャナー。
専門知識を持ったスタッフが3Dスキャンおよび3Dデータ処理を
行います。
【スペック】
■カメラ解像度：2×5,041,312Pixel(2452×2056)
■精度：550ANSI Lumen
■最小測定時間：1秒
■測定範囲XY(mm)：480×360
■測定範囲Z(mm)：300
■オペレーティングシステム：Windows7,64Bit
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電子マイクロメーター（電子測定器）ダイヤトロン2200
株式会社富窪精機 非接触計測サービス
株式会社富窪精機で行っている『非接触計測サービス』は、当社所有の
3Dスキャナ（GOM社 ATOS Core）により、金型や製品を非接触で計測し、
3DCADデータに変換します。
既存金型の破損や老朽化、また増産等により複製が必要になったが、
図面やデータがないといった場合、3Dスキャナから3DCADデータや図面を
作成することが可能。
また、金型メーカーである当社の場合、そのデータを利用し、最新クラスの
加工設備で金型の製作もできます。
【特長】
■3Dスキャナから3DCADデータや図面を作成することが可能
■最新クラスの加工設備で金型の製作も可能
■既存の金型や製品が、接触式の計測機ではうまく測れないといった場合にも
3Dスキャナが有効
■もとの設計3DCADデータとの比較をカラーマッピングで表示できる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
平面研削盤機上測定機『SG-1000』
『SG-1000』は、加工時は撮像部を跳ね上げたまま加工ができる、カメラによる平面研削盤内計測システムです。
加工品を加工機から外さずに計測し、チャック状態のままで加工寸法が把握できます！
また、そのまま追加工ができるため仕上がり精度の向上と加工時間の短縮が実現可能です。
撮像部には同軸照明とリング照明が内蔵され、照度調整はコントローラであるタブレットパソコン上で行うことができ、加工品のエッジを鮮明に映し出すことができます！
【特長】
■加工品を加工機から外さずに計測
■マシニング・形彫放電・ワイヤー放電・平面研削などの加工機に対応
■加工機主軸等にカメラが簡単にセットできる様々なアタッチメントをご用意
■加工時は撮像部を跳ね上げたまま加工ができる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
三次元座標測定器
新日本電工では『三次元座標測定器』を取り扱っております。
動的剛性に優れた門一センタ駆動方式を採用した「UPMC-CARAT Ultra ACC」を
はじめ、生産現場の環境にも優れた適応能力を誇る「PRISMO-VAST」や
「ザイザックス RVA-A」などを各種ご用意。
使用目的にマッチした製品を提供いたします。
【ラインアップ】
■UPMC-CARAT Ultra ACC
■PRISMO-VAST
■ホリゾンタルアーム型三次元座標測定機 Carmet
■CNCスキャニング三次元座標測定機 CONTURA
■ザイザックス RVA-A
■ザイザックス RVF-A
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
三次元座標測定
スラストプレート計測装置
『スラストプレート計測装置』は、スラストプレートの肉厚を
レーザーにより測定する装置です。
作業員によりワークを治具にセットし、測定開始ボタンを押すと、
上下に配置された1対のレーザーセンサがワークの肉厚を測定。
上昇機構と回転機構によりワークが上昇・回転しながら、合計3点の肉厚を測定。
検査終了後は、測定結果がモニタ上に表示されます。(3点測定の平均値)
【主な装置仕様(一部)】
■設備サイズ：幅500×高さ1979×奥行430mm(重量：0.2t)
■ワーク測定精度：±1.0μm
■供給電源：AC200V 3相(電力：2.5kVA)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
精密三次元測定サービス
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製造における加工歪みの測定
製造における加工歪みの測定とは？
製造プロセスにおいて、材料や製品に発生する意図しない変形や応力（加工歪み）を正確に把握・定量化すること。これにより、製品の品質低下、性能劣化、寿命短縮などを未然に防ぎ、製造工程の最適化や信頼性向上を目指す。
課題
微細な歪みの検出困難性
製品の小型化・高精度化に伴い、肉眼では判別できない微細な加工歪みの検出が難しくなっている。
非接触・非破壊測定の要求
製品にダメージを与えずに歪みを測定する必要があり、従来の接触式測定では対応できないケースが増加している。
複雑形状への対応
曲面や複雑な内部構造を持つ製品に対し、均一かつ高精度に歪みを測定する手法が限られている。
リアルタイム性の欠如
製造ラインでの迅速な品質判断や工程フィードバックに、リアルタイムでの歪み測定が求められているが、現状では時間がかかる場合が多い。
対策
光学的手法による高精度計測
レーザーや光干渉を利用し、非接触かつ高解像度で表面や内部の微細な歪みを捉える。
画像解析技術の活用
デジタル画像相関法（DIC）などを応用し、変形前後の画像から歪み分布を詳細に解析する。
シミュレーションとの連携
有限要素法（FEM）などの解析結果と実測データを比較・統合し、歪みの原因究明と予測精度を高める。
自動化・オンライン測定システムの導入
製造ラインに組み込み可能な自動測定装置や、AIを活用したリアルタイム解析システムを導入する。
対策に役立つ製品例
高精度3Dスキャナー
レーザーや構造化光を用いて、製品表面の微細な凹凸や変形を非接触で高精度に捉え、歪み量を定量化できる。
デジタル画像相関（DIC）システム
対象物にランダムパターンを付与し、複数枚の画像を比較することで、広範囲かつ高解像度の歪み分布を非破壊で計測する。
非接触式ひずみゲージ
レーザー変位計や干渉計を応用し、対象物に触れることなく、表面の微小な伸縮や曲がりをリアルタイムで測定する。
解析ソフトウェア
計測データやシミュレーション結果を取り込み、複雑な形状の歪み解析、原因特定、品質予測などを支援する。
⭐今週のピックアップ
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